儀器特點(diǎn)：

腔體材料：不銹鋼，鋁，或者Bell Jar；

分子泵：70，250，500 l/sec； 一級(jí)泵：機(jī)械泵或干泵；

13.5MHz, 300-600W射頻電源；1KW直流電源；

QCM在線厚度測(cè)量，厚度分辨率 0.1nm；

帶有觀察窗的門(mén)，方便樣品取放；

Labview軟件，PC控制；

多重密碼保護(hù)；

全安全互鎖設(shè)計(jì)；

選配功能：

向上，向下，側(cè)向?yàn)R射；

射頻，直流、脈沖直流濺射；

共濺射，反應(yīng)濺射；

組合濺射；

射頻、直流偏置(1000V)；

基底加熱：不高于700攝氏度；

厚度監(jiān)控；

基底射頻等離子清洗；

Load-Lock，以及自動(dòng)樣品取放；

不同型號(hào)選擇：

NSC系列，立式磁控濺射系統(tǒng)；

NSC系列，立式緊湊磁控濺射系統(tǒng)；

NSC系列，臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng)；

雙腔體系統(tǒng)，NSR系列，磁控濺射+反應(yīng)離子刻蝕(RIE)；

雙腔體系統(tǒng)，NSP系列，磁控濺射+PECVD；

雙腔體系統(tǒng)，NST系列，磁控濺射+熱蒸發(fā)；

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注：對(duì)于醫(yī)療器械類產(chǎn)品，請(qǐng)先查證核實(shí)企業(yè)經(jīng)營(yíng)資質(zhì)和醫(yī)療器械產(chǎn)品注冊(cè)證情況