產(chǎn)品簡介：

鋨等離子鍍膜機 (OPC) 是一種基于直流輝光放電的等離子鍍膜設備。OPC 采用了全新的四氧化鋨氣體 PCVD方式獲得鋨膜。不同于傳統(tǒng)的濺射和蒸鍍，OPC 很好地解決了薄膜的顆粒及熱損傷問題。

OPC 可以實現(xiàn)自動化操作，用于給 SEM、FE-SEM 樣品鍍導電薄膜或是給 TEM 樣品鍍支持膜。鍍膜厚度從幾納米到幾百納米，甚至是 1 納米以下的超薄膜。

OPC60A 標準型

可自動生長鋨膜

陰極樣品臺尺寸：直徑 60mm，以下任選其一：
兼容直徑 10mmSEM 樣品托，7 孔位
兼容直徑 15mmSEM 樣品托，4 孔位
兼容直徑 36mmSEM 樣品托，1 孔位

OPC80T 高配型

可自動生長鋨膜和萘膜

可自動生長鋨膜和萘膜

可同時容納 2 個直徑 10mm 的 SEM 樣品托，2 個直徑 15mm 的 樣品托，以及 1 個直徑 32mm 的樣品托

鋨存儲器

鋨存儲器帶觀察窗，可確定鋨的剩余量。

存儲器可單獨取下并密封（冷凍保存），可保存較長時間，安全性很高。

應用：

SEM、FE-SEM 樣品鍍導電膜

TEM（FIB）樣品鍍保護膜

AFM 樣品鍍保護膜

STM 樣品鍍保護膜以及導電膜

TEM 樣品鍍支持膜

產(chǎn)品特點：

設備性能

自動化控制，鍍膜時只需設定薄膜厚度，鍍膜過程自動完成

鋨存儲器可拆卸：具有密封式結(jié)構(gòu)，可冷凍保存

鍍膜時間短：只需幾秒鐘膜厚就可以達到納米級

裝有互鎖回路：一但 OsO4 氣體進入腔體，真空不達標，腔體就無法打開

鋨導電薄膜性能

無顆粒：用 OPC 鍍的鋨導電金屬膜是完全無定形的

鋨膜均勻性極高

無熱損傷：相比于熱蒸鍍和離子濺射，OPC 對樣品沒有熱損傷

無電子損傷：鋨膜硬度高、熔點高，不會因強電子束流受損傷

無污染：樣品在陰極，表面只有鋨陽離子，可以保證無污染

等離子體聚合萘膜性能

堅韌性：薄膜具有堅韌性，可承受 FIB 中的鎵離子

抗熱性

絕緣性

無顆粒

高均勻性

無熱損傷

無電子損傷

產(chǎn)品參數(shù)：

型號

OPC80T

OPC60A

反應腔

鋼化玻璃腔體: 160mm(OD)x105mm(H)

鋼化玻璃腔體: 120mm(OD)x73mm(H)

鍍膜厚度

幾納米到幾十納米

兼容SEM樣品托

可同時容納2個直徑10mm，2個直徑15mm，以及1個直徑32mm的SEM樣品托

可容納7個直徑10mm，或4個直徑15mm，或1個直徑32mm的SEM樣品托

鍍膜種類

鋨(OsO4)

萘(C10H8)

鋨(OsO4)

鋨存儲器

帶觀察窗，可拆卸，可密封、冷凍保存

萘存儲器

可拆卸, 帶觀察窗

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氣體導入

OsO4安瓿瓶在OsO4存儲器中被打開，OsO4升華之后進入反應腔體。

C10H8保存在C10H8存儲器中，升華之后進入反應腔體.

OsO4安瓿瓶在OsO4存儲器中被打開，OsO4升華之后進入反應腔體。

電源

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

外部尺寸

450(w)x410(D)x390(H)mm

450(w)x350(D)x330(H)mm

重量

約30kg

約20kg

鋨等離子鍍膜機 (OPC)信息由北京匯德信科技有限公司為您提供，如您想了解更多關于鋨等離子鍍膜機 (OPC)報價、型號、參數(shù)等信息，歡迎來電或留言咨詢。

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