電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置，納米精度電動(dòng)升降臺(tái)通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

納米精度電動(dòng)升降臺(tái)

 

電控位移臺(tái)也稱為電控平移臺(tái)是一種依靠步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行裝置，通過(guò)絲杠將步進(jìn)電機(jī)的角位移轉(zhuǎn)換為平臺(tái)位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺(tái)、電機(jī)和控制器。驅(qū)動(dòng)電機(jī)及控制器主要決定驅(qū)動(dòng)扭矩、分辨率、加減速度、信號(hào)處理等性能參數(shù)。位移臺(tái)則是系統(tǒng)的心臟，主要指標(biāo)參數(shù)有位移精度、行程、負(fù)載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的電動(dòng)升降臺(tái)傳動(dòng)螺桿采用滾珠絲杠實(shí)現(xiàn)高速平穩(wěn)運(yùn)動(dòng)，極高的螺桿品質(zhì)使平移臺(tái)擁有極佳的分辨率、定位精度。采用超高等級(jí)交叉滾珠導(dǎo)軌+LM滑軌，在確保了升降臺(tái)，具有超高的運(yùn)動(dòng)性能。該系統(tǒng)采用光柵尺閉環(huán)控制，在確保大行程的同時(shí)，分辨率達(dá)到了10nm。按照定位精度區(qū)分，我司電動(dòng)升降臺(tái)可分為 10納米精度位移臺(tái)和亞微米精度位移臺(tái)兩種類型。

1）10nm精度電控升降臺(tái)

該系類電控位移臺(tái)是擁有10nm分辨率的閉環(huán)反饋定位系統(tǒng)?？梢蕴峁┭卮怪狈较虻木芤苿?dòng)與定位。其采用光學(xué)線性位置編碼器，在提供大行程的同時(shí)，使設(shè)備擁有較高的精度。該產(chǎn)品采用滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)和LM滑軌+交叉滾珠導(dǎo)軌導(dǎo)向，確保了升降臺(tái)的精度及線性度。目前該產(chǎn)品提供5mm和10mm兩種不同行程的電控位移臺(tái)。

2）亞微米分辨率電控升降臺(tái)

該系類位移平臺(tái)是指分辨率可達(dá)到亞微米精度的精密運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。該系統(tǒng)也是光學(xué)編碼閉環(huán)控制，精度可達(dá)到50-100nm，可提供5mm和10mm不同行程的電控位移臺(tái)。

此外這兩種版本的升降臺(tái)可提供真空條件下使用的版本，可適用的的真空條件為10-4Pa，真空度約為10-6 Torr。

 

納米精度電動(dòng)升降臺(tái)主要特點(diǎn)高分辨率高重復(fù)定位精度采用滾珠絲杠，實(shí)現(xiàn)高精度定位采用高等級(jí)交叉滾珠導(dǎo)軌，具有超高運(yùn)動(dòng)性能

 

u 主要應(yīng)用

 

超精密激光加工、超精密三維掃描測(cè)量、全自動(dòng)計(jì)量?jī)x器檢測(cè)設(shè)備、工業(yè)自動(dòng)化等領(lǐng)域。

 

主要參數(shù)：

亞微米電控平移臺(tái)參數(shù)：

型號(hào)

行程（mm）

最大負(fù)載(N)

分辨率(nm)

重復(fù)定位精度(nm)

最大移動(dòng)速度(mm/s)

FC-411

FC-111

FC-411

FC-111

AU-FS-1005Z

5

49

50

100

100

200

5

AU-FS-1010Z

10

49

50

100

100

200

5

納米電控平移臺(tái)參數(shù)：

型號(hào)

行程（mm）

最大負(fù)載(N)

分辨率(nm)

重復(fù)定位精度(nm)

最大移動(dòng)速度(mm/s)

AU-FS-1005PZ

5

49

10

20

5

AU-FS-1010PZ

10

49

10

20

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