美國Microsense位移傳感器提供高穩(wěn)定性和線性方案、高分辨率、高帶寬測量方案,用于測量硬盤驅(qū)動馬達,氣動軸承轉(zhuǎn)子,X-Y樣品臺準(zhǔn)確度,光盤,汽車零部件和機床等測量。
美國Microsense位移傳感器特點:
1、高準(zhǔn)確性,高靈敏性測量,高精度可達0.5nm。
2、優(yōu)化的近距離測量 測量距離在10微米到5毫米。
3、完全非接觸式電容式微位移測量準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù),無損樣品測量。
4、可探測任何可傳導(dǎo)性、接地的測量目標(biāo) 表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準(zhǔn)確度無任何影響。
5、用途廣泛:金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial, Radial,Spindle runout),精密儀器工作平臺定位,設(shè)備自動聚焦測量(微影設(shè)備,原子力顯微鏡,光罩探測,圖像確認(rèn),LCD生產(chǎn)設(shè)備 )
美國Microsense位移傳感器特點:
1、高準(zhǔn)確性,高靈敏性測量,高精度可達0.5nm。
2、優(yōu)化的近距離測量 測量距離在10微米到5毫米。
3、完全非接觸式電容式微位移測量準(zhǔn)確的電子感應(yīng)技術(shù),無損樣品測量。
4、可探測任何可傳導(dǎo)性、接地的測量目標(biāo) 表面是否拋光以及材質(zhì)對測量準(zhǔn)確度無任何影響。
5、用途廣泛:金屬薄片厚度測量,振動測量,工作臺垂直度(Straighness)和平坦度(flatness)測量,精密馬達轉(zhuǎn)軸偏振測量(Axial, Radial,Spindle runout),精密儀器工作平臺定位,設(shè)備自動聚焦測量(微影設(shè)備,原子力顯微鏡,光罩探測,圖像確認(rèn),LCD生產(chǎn)設(shè)備 )