考夫曼離子源 RFICP 380 特性:
1. 放電腔 Discharge Chamber, 無需電離燈絲, 通過射頻技術(shù)提供高密度離子, 工藝時間更長.
  2kW 1.8 MHz, 射頻自動匹配
2. 離子源結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計
3. 自動調(diào)節(jié)技術(shù)保障柵極的使用壽命和可重復(fù)的工藝運行
4. 柵極材質(zhì)鉬和石墨,堅固耐用
5. 中和器 Neutralizer, 測量和控制電子發(fā)射,確保電荷中性
6. 通氣 Ar, O2, N2, others
7. 離子束流: 電流: 500毫安, 能量 100-1200eV
考夫曼離子源 RFICP 380 技術(shù)參數(shù)