美國(guó) KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列
上海伯東美國(guó)原裝進(jìn)口考夫曼離子源 KDC 系列, 加熱燈絲產(chǎn)生電子, 是典型的考夫曼型離子源, 增強(qiáng)設(shè)計(jì)輸出高質(zhì)量,穩(wěn)定的電子流.
美國(guó) KRI 考夫曼公司新升級(jí) Gridded KDC 系列離子源, 新的特性包含自對(duì)準(zhǔn)離子光學(xué)和開(kāi)關(guān)式電源控制. 考夫曼離子源 KDC 系列包含多種不同尺寸的離子源滿足各類(lèi)應(yīng)用. 考夫曼離子源 KDC 提供一套完整的方案包含考夫曼離子源, 電子中和器, 電源供應(yīng)器等等可以直接整合在各類(lèi)真空設(shè)備中, 例如實(shí)驗(yàn)室小型研發(fā), 鍍膜機(jī), load lock, 濺射系統(tǒng), 卷繞鍍膜機(jī)和線性鍍膜.
美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 特性：
通過(guò)加熱燈絲產(chǎn)生電子
低電流高能量寬束型離子源
美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 應(yīng)用：
輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜) IBAD
濺鍍 蒸鍍 PC
表面改性, 激活 SM
沉積 DD
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
 

美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 技術(shù)參數(shù)：