JSM-IT500HR掃描電子顯微鏡是JEOL InTouchScope?系列的新機(jī)型, 采用新開發(fā)的高亮度電子槍和透鏡系統(tǒng)，可以更迅速便捷地提供令人驚嘆的高分辨率圖像、高靈敏度和高空間分辨率；從設(shè)定視野到生成報(bào)告，利用完全集成的軟件大大地提高了作業(yè)速度。

主要特點(diǎn)：

×100,000 SEM像輕松獲得

JSM-IT500HR采用了新開發(fā)的高亮度電子槍和透鏡系統(tǒng)，因而能獲得令人驚嘆的高畫質(zhì)圖像。即使對實(shí)時圖像，也能輕松地在CCD圖像上從尋找視野迅速過渡到高倍率（×100,000）觀察。

輕松的元素分析

利用Live Analysis 功能可以不必再分別考慮高倍率觀察和EDS分析。

在觀察屏幕上可以隨時顯示分析區(qū)域內(nèi)的特征X射線譜圖以及自動定性的主要構(gòu)成元素，利用此功能還可以發(fā)現(xiàn)感興趣的元素和一些意想不到的元素。

◇ 快速面分布＆長時間面分布

70秒！面分布結(jié)果

安裝大口徑的EDS支持快速面分布。

由于JSM-IT500HR的高亮度電子槍能提供穩(wěn)定的探針電流，因此無論是進(jìn)行大區(qū)域的長時間面分布還是整夜運(yùn)轉(zhuǎn)儀器檢查全部的數(shù)據(jù)，都可以從容應(yīng)對。

◇ 數(shù)據(jù)集中管理軟件SMILE VIEWTM Lab

SMILE VIEWTM Lab是一個完全集成的數(shù)據(jù)管理軟件，能對與樣品臺坐標(biāo)關(guān)聯(lián)的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結(jié)果等數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)一管理，可以快速生成報(bào)告。利用SMILE VIEWTM Lab數(shù)據(jù)管理屏幕能對所有數(shù)據(jù)進(jìn)行集中管理。利用樣品架示意圖或CCD圖像獲取的低倍率圖像與觀察位置、觀察及分析結(jié)果以相互關(guān)聯(lián)的形式被保存了起來。可以輕松查看或重新分析以前采集的數(shù)據(jù)并反映到報(bào)告中去。

基本參數(shù)

分辨率

高真空模式

分析時

低真空模式

1.5nm(@30kV),4nm(@1kV)

3nm(@15kV，探針電流1nA)

1.8nm(15kV,BED)

放大倍率

X5-X600,000（以128X96mm 的顯示尺寸規(guī)定放大倍率

顯示倍率

X14-X1,679,449(以358mmX269mm的顯示尺寸規(guī)定放大倍率)

電子槍

高亮度六硼化鑭電子槍

加速電壓

加速電壓：0.5kV～30kV連續(xù)可調(diào)

低真空壓力范圍

10～150Pa

最佳光闌角控制鏡

內(nèi)置

物鏡光闌

4檔，帶有XY微調(diào)功能

自動功能

電子束對中調(diào)整

自動聚焦/自動消像散/自動亮度/自動襯度

zui大樣品尺寸

200直徑X75mm高度

200直徑X80mm高度

32直徑X90mm高度

樣品臺

大型全對中樣品臺

X：125mm,Y:100mm,Z:80mm

傾斜：-10-90°，旋轉(zhuǎn)：360°

圖像模式

二次電子像、REF像、成分像、拓?fù)湎瘛㈥幱跋竦取?p>顯示器

24寸觸摸屏

產(chǎn)品優(yōu)勢 JSM-IT500HR掃描電子顯微鏡, 采用新開發(fā)的高亮度電子槍和透鏡系統(tǒng)，可以更迅速便捷地提供令人驚嘆的高分辨率圖像、高靈敏度和高空間分辨率；從設(shè)定視野到生成報(bào)告，利用完全集成的軟件大大地提高了作業(yè)速度。