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脈沖激光沉積 NPD-4000（M）PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)
NPD-4000（M）PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)機(jī)制：PLD的系統(tǒng)設(shè)備簡(jiǎn)單，相反，它的原理卻是非常復(fù)雜的物理現(xiàn)象。它涉及高能量脈沖輻射沖擊固體靶時(shí)，激光與物質(zhì)之間的所有物理相互作用，亦包括等離子羽狀物的形成，其后已熔化的物質(zhì)通過(guò)等離子羽狀物到達(dá)已加熱的基片表面的轉(zhuǎn)移，及z后的膜生成過(guò)程。所以，PLD一般可以分為以下四個(gè)階 		2025-01-23
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