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NGP80-oxford-instruments NGP80 – 下一代等離子體處理系統(tǒng)_-深圳市美佳特科技有限公司

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-09-03  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):146
核心提示:keysight N1092A,86100D/C/B/A, 86105D/C/B/A,86107A,YOKOGAWAAQ6370D/C/B/A,示波器,光譜儀,光通信儀器 您所在位置:深圳市美佳特科技有限公司 NGP80oxford-instruments NGP80 – 下一代等離子體處理系統(tǒng) oxford-instruments NGP80 – 下一代等離子體處理系統(tǒng)PlasmaProTM NGP80 – 下一代等離子體處理系統(tǒng)為等離子體刻蝕和沉積集合了開放式進(jìn)樣工具多重處理技術(shù)PlasmaPro
keysight N1092A,86100D/C/B/A, 86105D/C/B/A,86107A,YOKOGAWAAQ6370D/C/B/A,示波器,光譜儀,光通信儀器
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oxford-instruments NGP80 – 下一代等離子體處理系統(tǒng)

PlasmaProTM NGP80 – 下一代等離子體處理系統(tǒng)為等離子體刻蝕和沉積集合了開放式進(jìn)樣工具多重處理技術(shù)PlasmaPro NGP80在同一個平臺上提供了通用的等離子體刻蝕和沉積技術(shù)解決方案,并且?guī)в斜憷拈_放式進(jìn)樣裝置。系統(tǒng)集合了微足?。╯mallfootprint)技術(shù),可方便地進(jìn)行定位及使用,且不會對工藝質(zhì)量產(chǎn)生不良影響。該設(shè)備是研發(fā)或小規(guī)模量產(chǎn)的理想工具,可處理從小塊樣品到直徑200mm的晶片。開放式進(jìn)樣設(shè)計使晶片可以快速進(jìn)片及退片,適合研究、原型開發(fā)及小量生產(chǎn)。PlasmaPro NGP80的優(yōu)勢:? 兼容Semi S2/S8安全標(biāo)準(zhǔn)? 關(guān)鍵組建方便裝卸有利于維護(hù)? 新一代的總線控制系統(tǒng)可以極大地提升數(shù)據(jù)的檢索、傳送、重復(fù)匹配能力? 新的增強用戶界面? 利用前端軟件的錯誤及工具診斷功能實現(xiàn)快速的錯誤診斷? 自動的清洗功能可以清除管道內(nèi)的有毒物質(zhì)并對管道進(jìn)行沖洗,通過前端軟件實現(xiàn)安全且完全的自鎖清洗控制工藝技術(shù)配置選項:? PlasmaPro NGP80 RIE? PlasmaPro NGP80 PECVD? PlasmaPro NGP80 RIE/PE

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