更新時間：2019-08-14 14:40:331998

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快速退火爐操作便捷，電熱元件采用紅外燈管，升溫速度快，節(jié)省時間，滑動法蘭使裝卸樣品過程簡化，方便操作，可快速得到實驗結(jié)果，取消了反復(fù)的法蘭安裝過程，減少了爐管因安裝造成的損壞。

產(chǎn)品用途：

此款CVD生長系統(tǒng)適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。

產(chǎn)品組成：

此款CVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開啟式真空管式爐（可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)）。

2.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

3.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空） 

產(chǎn)品特點(diǎn)：

1 控制電路選用模糊PID程控技術(shù)，該技術(shù)控溫精度高，熱慣性小，溫度不過沖，性能可靠，操作簡單。

2 氣路快速連接法蘭結(jié)構(gòu)采用本公司獨(dú)有的知識產(chǎn)權(quán)設(shè)計,提高操作便捷性。

3 中真空系統(tǒng)具有真空度上下限自動控制功能，高真空系統(tǒng)采用高壓強(qiáng)，耐沖擊分子泵

 防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長系統(tǒng)使用壽命。


 

系統(tǒng)名稱1200℃滑動式單/雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)系統(tǒng)型號CVD-12IH-3Z/GCVD-12IIH-3Z/GCVD-12II6H-3Z/Gzui高溫度1200℃加熱區(qū)長度420mm420mm610mm恒溫區(qū)長度210mm280mm400mm溫區(qū)單溫區(qū)雙溫區(qū)雙溫區(qū)石英管管徑 50/ 60/ 80/ 100mm 50/ 60/ 80mm 80/ 100mm額定功率2.5Kw3.2Kw4.8Kw額定電壓220V滑動距離290mm485mm滑動方式自動滑動/手動滑動溫度控制國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)50段程序控溫；控制精度 1℃爐管zui高工作溫度＜1200℃氣路法蘭密封法蘭與管件連接的地方采用多環(huán)密封技術(shù)，在密封法蘭與管外壁間形成了密封，在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效，該密封法蘭的安裝只需在*次使用設(shè)備的時候安裝氣體控制方式質(zhì)量流量計氣路數(shù)量3路（可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量）流量范圍0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分，可選配）氮?dú)鈽?biāo)定精度 1%F.S響應(yīng)時間 4sec工作溫度5-45℃工作壓力進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力）系統(tǒng)連接方式采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數(shù)顯真空測量儀規(guī)格中真空高真空系統(tǒng)真空范圍10Pa-100Pa1x10-3Pa-1x10-1Pa真空泵雙級機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa，抽氣速率4L/S,出氣口配有油污過濾器，額定電壓220V，功率0.55Kw真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1200L/S額定電壓220V功率2KW真空分子泵理論極限真空度5x10-6Pa抽氣速度1600L/S額定電壓220V功率2KW爐體外形尺寸340 580 555mm480 770 605mm系統(tǒng)外形尺寸530x1440x750mm530x1440x750mm(不含高真空)系統(tǒng)總重量230kg330kg