JSM-6510掃描電子顯微鏡
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JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標(biāo)，就可完成從圖像觀測(cè)到元素分析的整個(gè)過(guò)程。

操作窗口

直觀的操作界面的設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用戶

單個(gè)用戶可以根據(jù)常用功能設(shè)置相應(yīng)的圖標(biāo)，營(yíng)造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時(shí)，即可加載已注冊(cè)過(guò)的設(shè)定。



同時(shí)顯示兩幅圖像

畫(huà)面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實(shí)時(shí)圖像?？赏瑫r(shí)觀察樣品的形貌和組成分布。

微細(xì)結(jié)構(gòu)測(cè)量

適合于多種測(cè)量功能?？稍谟^察圖像上直接進(jìn)行測(cè)量。也可將測(cè)量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。



標(biāo)準(zhǔn)的全對(duì)中樣品臺(tái)，能收錄三維照片

3D Sight（選配件），能夠進(jìn)行平面測(cè)量和高度測(cè)量，實(shí)現(xiàn)立體俯視圖。

從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺(tái)監(jiān)視器，一臺(tái)用于SEM圖像觀察和另一臺(tái)用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標(biāo)即可同時(shí)控制兩臺(tái)監(jiān)視器。大尺寸畫(huà)面使操作更加簡(jiǎn)便與舒適。





維護(hù)簡(jiǎn)便

工廠預(yù)置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長(zhǎng)期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護(hù)的步驟說(shuō)明。

可信賴的真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)使用高性能的擴(kuò)散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴(kuò)散泵內(nèi)部無(wú)活動(dòng)部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)便的特色。

JSM-6510規(guī)格 保證分辨率 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
放大倍數(shù) 5至300,000x
加速電壓 0.5kV至30kV
電子槍 工廠預(yù)對(duì)中燈絲
聚光鏡 變焦聚光鏡
物鏡 錐形物鏡
樣品臺(tái) 全對(duì)中樣品臺(tái)
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋轉(zhuǎn) 360°
傾斜 －10°至＋90°
排氣系統(tǒng)
（高真空模式） DPx1，RPx1
排氣系統(tǒng)
（低真空模式） DPx1，RPx2