PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM TEM，紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

技術(shù)參數(shù)

電源

AC 208~240V，單相 50/60Hz

紫外燈

可發(fā)出雙波長的水銀燈

功率：55W

發(fā)出光的波長：254 nm 和185 nm

使用壽命：2500 小時（可在本公司購買紫外燈來更換）

照射區(qū)域：200 x 200 mm

腔體 樣品臺

不銹鋼殼體

抽屜式樣品臺，以便放樣取樣

樣品臺面積310 mm x 320 mm

臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

樣品臺與紫外燈的距離：20mm-40mm（可調(diào)）

樣品臺可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃

可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃

設(shè)備運(yùn)行時間：0.01 秒-99.9小時

排氣口

直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外

儀器中不包含橡膠管

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

凈重

28kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含紫外燈）

應(yīng)用

去除分子級別的污染物

紫外光固化粘合劑

紫外光催化

氧化PDMS

表面消毒

刻蝕

清洗MEMS 器件

清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片