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文檔簡介 如何選擇INFICON真空計(jì) 一，皮拉尼真空計(jì) 1.皮拉尼真空計(jì)原理 加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度 由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化 熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系 2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī) 1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500） 2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)） 3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān): 1，氣體類型 2，壓力大小 4.皮拉尼真空計(jì)測量范圍與精度 測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?x10-4至1000mbar 精度（氮?dú)猓?1x10-3…100毫巴±15% 5x10-4…1x10-3毫巴±50% 100...1000毫巴±50% 5.皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn) 燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以最大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命 6.皮拉尼真空計(jì)具體型號 lPSG050/051 lPSG100-SPSG101-S lPSG500/500-SPSG502 l皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG550 1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起 2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作 3.100mbar1000mbar使用薄膜規(guī)信號 4.1mbar100mbar兩規(guī)信號同時(shí)采用 5.5x10-4mbar1mbar采用皮拉尼信號 6.輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍 7.皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè) l各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè) l各種中低真空測量，如照明，冶金 l真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG100 lPSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216 lPCG400PCG410（現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用 lPSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛 二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045/100/160/200 1.電容薄膜規(guī)工作原理 l壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系 l通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度 2.電容薄膜規(guī)特點(diǎn) l以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成 l在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量 l快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率 l卓越的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性 l由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性 l對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定 l快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài) l一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整 l抗腐蝕超純陶瓷傳感器 l能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象 l暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥 l對蒸氣介質(zhì)不敏感 l先進(jìn)的傳感器屏蔽（專利）延長真空計(jì)在污染的工藝過程中的使用壽命 3.INFICON陶瓷技術(shù) l陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性 1，無“記憶”效應(yīng) 2，陶瓷無疲勞問題 3，最好的溫度補(bǔ)償 4，卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性 l低使用成本 1.非凡的使用壽命 2.無需隔離閥 4.SkyCDG025D測量范圍 5.加熱型薄膜規(guī) 6.加熱型優(yōu)點(diǎn) l零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境） l更高的精度 l環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無影響 l比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’ l快速恢復(fù)時(shí)間大氣壓 1minwithin5mV l任意安裝角度 l抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響 7.電容薄膜規(guī)的應(yīng)用 要求高的應(yīng)用條件下，精確而快速的壓強(qiáng)測量 l用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。 l資料貯存和顯示器制造設(shè)備 l工業(yè)真空設(shè)備 l常用高精度真空測量 三，熱電離規(guī) 1.熱電離規(guī)原理 Richardson效應(yīng):高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子 1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出 2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系 2.兩種類型熱電離規(guī) 3.熱電離型復(fù)合規(guī) lHPG400 lBPG400/-SP/-SD/SR lBPG402 lBCG450B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號復(fù)合在一起 l 4.優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用 lBPG n測量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-101000mbar n精度高，極好的重復(fù)性5% n燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。 n方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié) n注意事項(xiàng)： u對氣體有選擇性 u抗污染能力弱 n普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測量 n在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛 lBPG402 n雙燈絲，大大延長使用壽命 n電離規(guī)的工作可以自定義控制 n探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性 lHPG400 n電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合 n皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī) n電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義 n簡易的校準(zhǔn)功能 n相對便宜的價(jià)格 lBCG450 n可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn) n極佳的重復(fù)性 n精確的大氣端測量 四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)） 1.冷電離規(guī)原理 通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離 2.潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用 l測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar l全金屬密封 l無燈絲 l易清洗 l應(yīng)用于普通的高真空測量 3.冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用 l冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合 l測量范圍廣：5x10-9-1000mbar l易于保養(yǎng)清洗 l無高真空燈絲， l應(yīng)用于普通高真空測量 4.冷規(guī)及復(fù)合規(guī)性能比較
標(biāo)簽： 相關(guān)產(chǎn)品
文檔簡介 如何選擇INFICON真空計(jì) 一，皮拉尼真空計(jì) 1.皮拉尼真空計(jì)原理 加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度 由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時(shí)帶走了能量，電阻絲的溫度會(huì)發(fā)生變化 熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系 2.衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī) 1，穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICONPSG500） 2，穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)） 3.氣體的熱傳導(dǎo)，與下列提條件有關(guān): 1，氣體類型 2，壓力大小 4.皮拉尼真空計(jì)測量范圍與精度 測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮?dú)猓?x10-4至1000mbar 精度（氮?dú)猓?1x10-3…100毫巴±15% 5x10-4…1x10-3毫巴±50% 100...1000毫巴±50% 5.皮拉尼真空計(jì)的優(yōu)特點(diǎn) 燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以最大的保護(hù)，大大延長了燈絲的使用壽命 6.皮拉尼真空計(jì)具體型號 lPSG050/051 lPSG100-SPSG101-S lPSG500/500-SPSG502 l皮拉尼電容膜片復(fù)合真空計(jì)PCG400PCG410PCG550 1.有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起 2.兩種原理的規(guī)管全過程都工作 3.100mbar1000mbar使用薄膜規(guī)信號 4.1mbar100mbar兩規(guī)信號同時(shí)采用 5.5x10-4mbar1mbar采用皮拉尼信號 6.輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍 7.皮拉尼真空計(jì)應(yīng)用行業(yè) l各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏，鍍膜，等離子行業(yè) l各種中低真空測量，如照明，冶金 l真空連鎖控制，高真空計(jì)的點(diǎn)火開關(guān)控制，如PEG100 lPSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216 lPCG400PCG410（現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經(jīng)停產(chǎn)）與PSG500基本相同，但彌補(bǔ)了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點(diǎn)，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍(lán)寶石爐上廣泛應(yīng)用 lPSG100PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但因?yàn)榫哂型ㄓ崊f(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛 二，電容薄膜規(guī)CDG025D/CDG045/100/160/200 1.電容薄膜規(guī)工作原理 l壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系 l通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度 2.電容薄膜規(guī)特點(diǎn) l以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎(chǔ)構(gòu)成 l在嚴(yán)酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強(qiáng)測量 l快速的預(yù)熱和恢復(fù)時(shí)間,提高生產(chǎn)率 l卓越的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復(fù)性 l由于電子學(xué)直接安裝在傳感器上,改進(jìn)了溫度補(bǔ)償和EMC兼容性 l對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定 l快速預(yù)熱在開機(jī)的一分鐘內(nèi)達(dá)到快速穩(wěn)定和進(jìn)入準(zhǔn)備使用狀態(tài) l一鍵按鈕:調(diào)零功能和設(shè)點(diǎn)調(diào)整 l抗腐蝕超純陶瓷傳感器 l能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強(qiáng)循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象 l暴露大氣壓后快速恢復(fù),無需隔離閥 l對蒸氣介質(zhì)不敏感 l先進(jìn)的傳感器屏蔽（專利）延長真空計(jì)在污染的工藝過程中的使用壽命 3.INFICON陶瓷技術(shù) l陶瓷技術(shù)的優(yōu)越性 1，無“記憶”效應(yīng) 2，陶瓷無疲勞問題 3，最好的溫度補(bǔ)償 4，卓越的零點(diǎn)穩(wěn)定性 l低使用成本 1.非凡的使用壽命 2.無需隔離閥 4.SkyCDG025D測量范圍 5.加熱型薄膜規(guī) 6.加熱型優(yōu)點(diǎn) l零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境） l更高的精度 l環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無影響 l比工藝更快的預(yù)熱啟動(dòng)時(shí)間’ l快速恢復(fù)時(shí)間大氣壓 1minwithin5mV l任意安裝角度 l抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響 7.電容薄膜規(guī)的應(yīng)用 要求高的應(yīng)用條件下，精確而快速的壓強(qiáng)測量 l用于刻蝕，CVD,PVD,ALD半導(dǎo)體設(shè)備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth Rau公司的PECVD設(shè)備標(biāo)配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質(zhì)量流量計(jì)用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內(nèi)用的好多PECVD設(shè)備上用的是INFICON的CDG025D。 l資料貯存和顯示器制造設(shè)備 l工業(yè)真空設(shè)備 l常用高精度真空測量 三，熱電離規(guī) 1.熱電離規(guī)原理 Richardson效應(yīng):高溫?zé)艚z發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個(gè)或多個(gè)電子被撞擊出去，形成帶正電的離子 1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出 2）離子流的大小與氣體壓力成比例關(guān)系 2.兩種類型熱電離規(guī) 3.熱電離型復(fù)合規(guī) lHPG400 lBPG400/-SP/-SD/SR lBPG402 lBCG450B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號復(fù)合在一起 l 4.優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用 lBPG n測量范圍寬，一個(gè)規(guī)管覆蓋13個(gè)量程5x10-101000mbar n精度高，極好的重復(fù)性5% n燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護(hù)，使燈絲并不會(huì)因突然暴露大氣而燒毀。 n方便的校準(zhǔn)調(diào)節(jié) n注意事項(xiàng)： u對氣體有選擇性 u抗污染能力弱 n普遍應(yīng)用于從低到超高真空的測量 n在工業(yè)，半導(dǎo)體，研究行業(yè)應(yīng)用廣泛 lBPG402 n雙燈絲，大大延長使用壽命 n電離規(guī)的工作可以自定義控制 n探頭備件自帶校準(zhǔn)參數(shù)，保證精度與重復(fù)性 lHPG400 n電離規(guī)與皮拉尼的復(fù)合 n皮拉尼自鎖保護(hù)電離規(guī) n電離規(guī)的工作啟動(dòng)點(diǎn)可以一定范圍內(nèi)自定義 n簡易的校準(zhǔn)功能 n相對便宜的價(jià)格 lBCG450 n可調(diào)的電離規(guī)工作起點(diǎn) n極佳的重復(fù)性 n精確的大氣端測量 四，冷電離規(guī)（潘寧規(guī)） 1.冷電離規(guī)原理 通過氣體放電方式產(chǎn)生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離 2.潘寧規(guī)特點(diǎn)與應(yīng)用 l測量范圍：5x10-9to1x10-2mbar l全金屬密封 l無燈絲 l易清洗 l應(yīng)用于普通的高真空測量 3.冷規(guī)復(fù)合規(guī)MPG400特點(diǎn)與應(yīng)用 l冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復(fù)合 l測量范圍廣：5x10-9-1000mbar l易于保養(yǎng)清洗 l無高真空燈絲， l應(yīng)用于普通高真空測量 4.冷規(guī)及復(fù)合規(guī)性能比較
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