光刻膠是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一。印刷工業(yè)是光刻膠應(yīng)用的另一重要領(lǐng)域。光刻膠根據(jù)其化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理，可分負(fù)性膠和正性膠兩類。光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)性膠；反之，對某些溶劑是不可溶的，經(jīng)光照后變成可溶物質(zhì)的即為正性膠。利用這種性能，將光刻膠作涂層，就能在硅片表面刻蝕所需的電路圖形。 精品推薦
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