原子層沉積系統(tǒng) 原子層沉積系統(tǒng)是一種可以將物質(zhì)以單原子膜形式一層一層的鍍?cè)诨妆砻娴姆椒?。原子層沉積與普通的化學(xué)沉積有相似之處。但在原子層沉積過(guò)程中，新一層原子膜的化學(xué)反應(yīng)是直接與之前一層相關(guān)聯(lián)的，這種方式使每次反應(yīng)只沉積一層原子。原子層沉積系統(tǒng)是通過(guò)將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)器并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法（技術(shù)）。 精品推薦
品牌： 美國(guó)SVT Associates 型號(hào)： ALD-05 產(chǎn)地：美國(guó) 供應(yīng)商：美國(guó)SVTA公司中國(guó)辦事處

美國(guó)SVT公司ALD原子層沉積系統(tǒng)自1990年來(lái)薄膜淀積設(shè)備頂級(jí)制造商。擁有獨(dú)立的室內(nèi)實(shí)驗(yàn)室用于材料研究和工藝開(kāi)發(fā)。提供廣泛的服務(wù)，包括淀積設(shè)備、淀積部件、集成傳感器以及工藝控制設(shè)備制造和工藝技術(shù)的高度結(jié)合，為客戶提供可靠的技術(shù)服務(wù)實(shí)驗(yàn)室7臺(tái)應(yīng)用淀積設(shè)備生長(zhǎng)出世界級(jí)的材料多條設(shè)備生產(chǎn)線幾乎覆蓋了整個(gè)薄膜淀積設(shè)備市場(chǎng)在薄膜淀積領(lǐng)域擁有超過(guò)120臺(tái)設(shè)備的頂級(jí)供應(yīng)商。NorthStar ALD系統(tǒng)介紹：NorthStar ALD原子層沉積系統(tǒng)提供各種淀積方法，包括熱淀積以及能量增強(qiáng)淀積。每臺(tái)設(shè)備可以提供多達(dá)8個(gè)先驅(qū)源管路以及一個(gè)熱壁淀積腔，使其應(yīng)用范圍極為廣泛。設(shè)備的快速艙口蓋或裝載室（可選件）使樣品操作快捷方便。NorthStar ALD系統(tǒng)不但能跟其他設(shè)備連接起來(lái)，還能連接多種測(cè)量?jī)x器。原位測(cè)量工具以及RoboALD軟件自動(dòng)化系統(tǒng)提高了工藝的再現(xiàn)性。可以直接升級(jí)至超高真空提供工藝演示以及工藝培訓(xùn)服務(wù)為潛在客戶提供免費(fèi)樣品測(cè)試。應(yīng)用領(lǐng)域：High-K電介質(zhì)納米涂層MEMS光子晶體擴(kuò)散阻擋層器件封裝表面改性層技術(shù)參數(shù)：為科研客戶量身打造最先進(jìn)的原子層沉積系統(tǒng)。提供4"、6"、8"、12"等多種尺寸的樣品平臺(tái)。針對(duì)客戶的需求，提供多種輸氣設(shè)計(jì)。---可控真空度: 1 Torr to UHV---氣道加熱---氣體快速進(jìn)出---樣品尺寸: 4in standard, optional 12in---基底加熱: up to 300 ℃, optional higher temp主要特點(diǎn)：最安全的設(shè)計(jì)，多樣化的配置，全方位的測(cè)試手段。精確的控制手段打造完美的成膜質(zhì)量。強(qiáng)大的科研團(tuán)隊(duì)鑄就領(lǐng)先的科技實(shí)力。---氣體離子化---臭氧輸送裝置---石英振蕩器---四重質(zhì)量分光計(jì)---實(shí)時(shí)溫度顯示---橢偏儀---進(jìn)樣室

品牌： 德國(guó)Diener 型號(hào)： P300 產(chǎn)地：德國(guó) 供應(yīng)商：上海爾迪儀器科技有限公司

簡(jiǎn)介:聚對(duì)二甲苯（Poly-p-xylene），商品名帕里綸（Parylene），是通過(guò)化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性，主要有 Parylene N（聚對(duì)二甲苯）、Parylene C（聚一氯對(duì)二甲苯）和 Parylene D（聚二氯對(duì)二甲苯）三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。工作原理:將該二聚體進(jìn)行高溫裂解產(chǎn)生雙自由基，再導(dǎo)入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合，得到均勻致密的聚對(duì)二甲苯薄膜。聚對(duì)二甲苯薄膜涂層特點(diǎn):聚對(duì)二甲苯薄膜無(wú)色透明,膜厚0.1μm 時(shí)仍無(wú)針孔。它的化學(xué)性能穩(wěn)定 ,有優(yōu)良的機(jī)\電\熱和生物相容性,對(duì)氣體有良好的阻擋作用,還能提高被抱覆物的耐摸性,同時(shí)是一種能防潮\防霉\防酸堿\耐輻照的高品質(zhì)防護(hù)涂層。聚對(duì)二甲苯薄膜涂層的優(yōu)良特性,使其在許多高科技領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景 。Parylene涂層在電子領(lǐng)域應(yīng)用極其廣泛,主要用于:電路板,半導(dǎo)體器件,集成電路,混合微電路, 混合微電路,電容器,微型電機(jī)和鐵氧體;在光學(xué)和光電領(lǐng)域主要用于光學(xué)光電器件,復(fù)印技術(shù)光電感光體,激光存儲(chǔ)和記錄器件;在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域用于人工假體,埋入式器件,血液分析器等;在航空航天領(lǐng)域主要用在航空航天器上,用于絕緣保護(hù)。Diener P300聚對(duì)二甲苯涂沉系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):涂層材料;聚對(duì)二甲苯 N,C,D涂層厚度:0.05~100μm加熱爐:4kW/Max.850℃沉積室:Dia.700*H720mmGas injection:homogenous dispersal systemCarrousel:Dia.600mm*H600mmPumping system:two-stage rotary vane suction power 65m3/hUltimate pressure:1*10-3mbarContral:Full PC based contral system on Windows-basedCompressed air:6bars oil free and dryExhaust:40mm tubeDimensions:W2700*D2200*1600mmConnections:3phase/400V/16A/50,60Hz爾迪儀器提供優(yōu)質(zhì)的售前售后服務(wù).

品牌： 德國(guó)Diener 型號(hào)： P30 產(chǎn)地：德國(guó) 供應(yīng)商：上海爾迪儀器科技有限公司

簡(jiǎn)介:聚對(duì)二甲苯（Poly-p-xylene），商品名帕里綸（Parylene），是通過(guò)化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結(jié)構(gòu)的聚合物薄膜的統(tǒng)稱，它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩(wěn)定性，主要有 Parylene N（聚對(duì)二甲苯）、Parylene C（聚一氯對(duì)二甲苯）和 Parylene D（聚二氯對(duì)二甲苯）三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護(hù)性涂料和包封材料等。工作原理:將該二聚體進(jìn)行高溫裂解產(chǎn)生雙自由基，再導(dǎo)入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合，得到均勻致密的聚對(duì)二甲苯薄膜。聚對(duì)二甲苯薄膜涂層特點(diǎn):聚對(duì)二甲苯薄膜無(wú)色透明,膜厚0.1μm 時(shí)仍無(wú)針孔。它的化學(xué)性能穩(wěn)定 ,有優(yōu)良的機(jī)\電\熱和生物相容性,對(duì)氣體有良好的阻擋作用,還能提高被抱覆物的耐摸性,同時(shí)是一種能防潮\防霉\防酸堿\耐輻照的高品質(zhì)防護(hù)涂層。聚對(duì)二甲苯薄膜涂層的優(yōu)良特性,使其在許多高科技領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景 。Parylene涂層在電子領(lǐng)域應(yīng)用極其廣泛,主要用于:電路板,半導(dǎo)體器件,集成電路,混合微電路, 混合微電路,電容器,微型電機(jī)和鐵氧體;在光學(xué)和光電領(lǐng)域主要用于光學(xué)光電器件,復(fù)印技術(shù)光電感光體,激光存儲(chǔ)和記錄器件;在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域用于人工假體,埋入式器件,血液分析器等;在航空航天領(lǐng)域主要用在航空航天器上,用于絕緣保護(hù)。Diener P30聚對(duì)二甲苯薄膜涂層系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):涂層材料;聚對(duì)二甲笨 N,C,D涂層厚度:0.05~100μm加熱爐:4kW/Max.700℃涂層腔體尺寸:D310*H500mmGas injection:homogenous dispersal systemCarrousel:Dia.150mm*H270mmPumping system:two-stage rotary vane suction power 25m3/hUltimate pressure:1*10-3mbarContral:Full PC based contral system on Windows-basedCompressed air:6bars oil free and dryExhaust:25mm tubeDimensions:W1400*D700*1700mmConnections:3phase/400V/16A/50,60Hz爾迪儀器提供優(yōu)質(zhì)的售前售后服務(wù).

原子層沉積系統(tǒng) 儀器網(wǎng)原子層沉積系統(tǒng)產(chǎn)品導(dǎo)購(gòu)專(zhuān)場(chǎng)為您提供原子層沉積系統(tǒng)功能原理、規(guī)格型號(hào)、性能參數(shù)、產(chǎn)品價(jià)格、詳細(xì)產(chǎn)品圖片以及廠商聯(lián)系方式等實(shí)用信息，您可以通過(guò)設(shè)置不同查詢條件，選擇滿足您實(shí)際需求的原子層沉積系統(tǒng)產(chǎn)品，同時(shí)原子層沉積系統(tǒng)產(chǎn)品導(dǎo)購(gòu)專(zhuān)場(chǎng)還為您提供精品優(yōu)選原子層沉積系統(tǒng)產(chǎn)品和原子層沉積系統(tǒng)相關(guān)技術(shù)資料、解決方案、招標(biāo)采購(gòu)等綜合信息。