Aerotech定位平臺ANT130XY-110 發(fā)表時間：2019-04-29 14:24 作者：胤旭機(jī)電 來源：www.yinxu99.com 瀏覽：
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Aerotech定位平臺ANT130XY-110

ANT130XY系列平臺在XY行程中提供高達(dá)160 mm的納米級性能。集成的時尚設(shè)計提供僅85 mm的極低輪廓。該平臺配備專有的直接驅(qū)動電機(jī)技術(shù)，非接觸式線性編碼器，限制，集成電纜管理系統(tǒng)和三種性能等級。

超精密舞臺設(shè)計

ANT130XY設(shè)計允許優(yōu)化正交性，直線度和平直度等關(guān)鍵元素，從而形成具有出色幾何公差的平臺。Aerotech的直接驅(qū)動技術(shù)沒有滯后或間隙，可在X和Y尺寸上實(shí)現(xiàn)精確且可重復(fù)的納米級運(yùn)動。所有行程選項(xiàng)(60 mm x 60 mm，110 mm x 110 mm，160 mm x 160 mm)均具有85 mm的輪廓高度。集成的電纜管理系統(tǒng)設(shè)計用于長壽命并最小化阻力。

非接觸式直接驅(qū)動

只有非接觸式直接驅(qū)動技術(shù)才能為大規(guī)模生產(chǎn)精密設(shè)備提供穩(wěn)健，精確和高速的定位。ANT130XY階段采用Aerotech率先推出的先進(jìn)直驅(qū)技術(shù)，以實(shí)現(xiàn)最高水平的定位性能。這種直接驅(qū)動技術(shù)是高性能，無齒槽，非接觸，高速，高分辨率和高精度。

這種獨(dú)特的驅(qū)動和軸承組合，采用極小的外形和封裝，在許多應(yīng)用中提供了切實(shí)的優(yōu)勢，如高精度定位，磁盤驅(qū)動器制造，光纖對準(zhǔn)，光學(xué)延遲元件驅(qū)動，傳感器測試和掃描過程要求平穩(wěn)而精確的運(yùn)動。

多軸配置

ANT130XY可與其他Aerotech ANT系列產(chǎn)品(垂直提升級，直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)式和測角儀)結(jié)合使用，以創(chuàng)建獨(dú)特的高性能多軸系統(tǒng)。

ULTRA性能等級選項(xiàng)

為了通過我們的多軸納米定位系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)最高的系統(tǒng)精度，Aerotech開發(fā)了一種先進(jìn)的動態(tài)軌跡校準(zhǔn)系統(tǒng)。為了利用這種先進(jìn)的校準(zhǔn)系統(tǒng)，機(jī)械系統(tǒng)必須在我們一流的計量實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行完全組裝，功能測試和校準(zhǔn)。

納米級系統(tǒng)精度只能在嚴(yán)格的環(huán)境條件下實(shí)現(xiàn)，使用最佳測試設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)，使用最高精度的機(jī)械元件，并利用Aerotech行業(yè)領(lǐng)先控制的ULTRA軟件功能。通過使用ANT130XY實(shí)現(xiàn)ULTRA動態(tài)軌跡校準(zhǔn)，我們能夠產(chǎn)生 250 nm或更好的保證二維精度。

規(guī)范中提供的圖表說明了標(biāo)準(zhǔn)ANT130XY和ULTRA版本之間的性能差異。實(shí)際上消除了由階段偏航引起的直線度誤差，正交性誤差和精度誤差。