納米解析度的穿透式電子顯微鏡-測量儀器

納米級空間解析度的穿透式電子顯微術(transmission electron microscopyTEM)與掃描探針顯微術(scanning probe microscopy，SPM)

是納米量測技術的兩大軸心技術，前者源自于電子光學理論基礎；

后者則表面科學的極致表現(xiàn)。掃描探針顯微鏡技術現(xiàn)已成為輔助納米科技發(fā)展的關鍵檢測技術，

其特色為訊號靈敏度極高，并可提供高空間解析度的試片表面訊號。
自掃描穿遂顯微鏡(scanning tunneling microscope, STM)問世并用于觀測矽面的表面形貌影像，短短二十多年之間，

掃描探針顯微鏡技術已被拓展并廣泛運用于量測分析電、光、熱、力、生、磁等各方面的表面微觀物理性質，

甚至亦可用于納米加工與制造的領域，

自掃描穿遂顯微鏡(scanning tunneling microscope，STM)問世以來，短短二十多年之間，
結合各種不同性質的納米探針，已發(fā)展出許多不同用途的掃描探針顯微鏡技術，
并成功應用于電、光、力、磁等各種微觀物理性質的量測分析上，如今，掃描探針顯微鏡技術已成為世界上發(fā)展納米量測技術的趨勢主流。