使用金相顯微鏡觀察鋁基板拋光面的表面顆粒

氮化鋁表面形貌與成分分析

使用金相顯微鏡觀察氮化鋁基板的表面型貌，

使用兩種不同厚度的氮化鋁基板，厚度分別為 380μm及 630 μm。

氮化鋁基板拋光面的表面俯視圖及橫斷面俯視圖可觀察到氮化鋁基板為由大小約 1~3 μm 不等的顆粒所組成，
拋光后表面較未拋光前平整許多，但仍有部份區(qū)域有凹洞，其寬約為 0.3~1
μm。其中厚度為 380 μm 的凹洞密度較高。

這些凹洞有些是拋光后就存在，有些則是因粉末附著得不夠緊密而脫離。由圖 3-2(b)及(d)橫斷面可看到這些
凹洞的深度約 0.5~1 μm。另外可發(fā)現(xiàn)顆粒之間黏著得很緻密，幾乎沒有孔
隙存在，因此不會(huì)影響基板的熱傳導(dǎo)特性，可用來做為導(dǎo)熱基板。

由能量分散式光譜儀(Energy dispersive x-ray spectroscopy，EDS)可知基板可能含有的元素，

量測(cè)結(jié)果可知，氮化鋁基板的主要成分為鋁及氮元素，因此可以得知基板的主要成分為氮化鋁。
觀察到元素氧及釔的訊號(hào)。氧化釔(Y2O3)為在制作氮化鋁陶瓷基板中添
加的燒結(jié)助劑，觀察到的元素氧及釔的訊號(hào)即是來自于氧化釔，添加氧化
釔目的為移除氮化鋁顆粒中不利于熱傳導(dǎo)的溶氧以提高基板的熱導(dǎo)率