顯微硬度計測量膜的硬度,安裝顯微鏡的旋轉(zhuǎn)器

壓痕過程
使用動態(tài)超顯微硬度計測量膜的硬度。維氏方形面菱形錐體，非相鄰面之間的夾角136°，
安裝在顯微鏡的旋轉(zhuǎn)器使用。樣品，類型準(zhǔn)備在5×5 mm2的板，膠接到金屬表面來壓痕測量在21-22℃下和45-50％RH。
試驗參數(shù)選擇使用一臺電腦。

總結(jié)實驗值。金剛石針尖辦法在已定義的速度表面。
當(dāng)刻壓機接觸試樣表面，有輕微的負(fù)載增加登記在控制處理器。處理器同時連續(xù)記錄，無論是應(yīng)用負(fù)載和穿透深度。
適用的最小負(fù)載為0.1 mN在1％的精度和1 nm的深度分辨率。

表面特性描述
一個 TopoMetrix原子力顯微鏡（AFM）在室溫條件下使用的特征是在前面描述薄膜表面形態(tài)斥力的接觸模式下。
運算表面粗糙度(Ra)從5μm×5μm的圖像測定取得先前使用的原子力顯微鏡系統(tǒng)軟體進行分析25到45對
每一個樣品的圖像。絲狀薄膜的結(jié)果在鑄造20℃下從更大的圖像使用外推法獲得。