掃瞄穿隧式顯微鏡的原理-精密光學(xué)儀器常識

原子力顯微技術(shù)

原子力顯微鏡

自從 1982 年掃瞄穿隧式電子顯微鏡(STM)發(fā)明之后，開啟了可以直接探索原子尺度的表面結(jié)構(gòu)，
方便我們?nèi)〉脴悠繁砻娴挠跋瘢?br>此后各式不同功用的掃瞄探針顯微鏡(SPM)也相繼不斷地被發(fā)展出來，

而以 1986 年所發(fā)明的原子力顯微鏡(AFM)用途最廣。

由于掃瞄穿隧式顯微鏡是使用量子穿隧效應(yīng)做為回饋控制的訊號，樣品需為導(dǎo)體或半導(dǎo)
體，且系統(tǒng)要求需在高真空環(huán)境下進(jìn)行，才能使影像的解析度更好，
但也降低了其實(shí)用性與便利性。

然而原子力顯微鏡，它可在大氣環(huán)境及液體下操作，受測樣品不須具有導(dǎo)電性，所以研究及應(yīng)用的領(lǐng)域范
圍就更加寬廣，
加上它的解析度也可達(dá)到奈米級，對微區(qū)結(jié)構(gòu)的表面幾何形貌、粗糙度等特性，提供了微小量技術(shù)的主要利器。
尤其對于傳統(tǒng)掃瞄電子顯微術(shù)無法清楚解析之樣品，更是最佳的檢測工具

AFM 儀器系統(tǒng)架構(gòu)，分為三個(gè)主要部分：掃瞄控制主體系統(tǒng)、電子控制系統(tǒng)、及隔離防震系統(tǒng)