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一般光學顯微鏡配合對焦尋形原理測量三維表面輪廓
利用一般光學顯微鏡配合對焦尋形(Shape from Focus,SFF)原理,并結(jié)合最小相鄰反捲積
(nearestneighbor deconvolution,NND)技術即可重建出待測物的三維表面輪廓。
但在量測待測物過程中,若因待測物的表面資訊不足,
則會導致反射光訊號弱,造成訊噪比(Signal-to-Noise Ratio)差,則待測物的三維表面重建雜訊較多,
因此在擷取影像時,CCD 會重複擷取影像再取其平均值以改善訊噪比,由于這個重複擷取影像過程,
會使整體量測的時間增長,為了使量測時間縮短,
可選用較高訊噪比的 CCD攝影機,如此一來,就可兼顧訊噪比與整體系統(tǒng)量測的時間