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制造材料孔隙率測(cè)量影像測(cè)量?jī)x器-精密測(cè)量顯微鏡

孔隙率
孔隙率的量測(cè)是利用阿基米得原理來(lái)計(jì)算，粉末
的大小、外形與燒結(jié)溫度、時(shí)間，都會(huì)對(duì)孔隙率造成影響，
孔隙率對(duì)于均熱板微結(jié)構(gòu)的重要性很大，孔隙率的越大可以攜帶的工作流體越多，通道也越大，對(duì)
于工作液體的回流至蒸發(fā)區(qū)也會(huì)越暢通，
但流道較小，在工作流體回流的毛細(xì)力會(huì)相對(duì)較大，所以孔隙
率對(duì)均熱板的影響也相當(dāng)重要。
滲透率
滲透率實(shí)驗(yàn)根據(jù)達(dá)西定律（Darcy’s Law），透過(guò)
滲透率的量測(cè)可以了解到流道是否暢通，滲透率越好
的結(jié)構(gòu)，流道就會(huì)越暢通，這對(duì)設(shè)計(jì)均熱板的內(nèi)部的
微流道有幫助

藉由不同 mesh 數(shù)的銅粉搭配，制作均熱板蒸發(fā)區(qū)與支撐柱的毛細(xì)微結(jié)構(gòu)，
針對(duì)毛細(xì)微結(jié)構(gòu)性質(zhì)(平均收縮率、孔隙率、滲透率)來(lái)進(jìn)行探討，
進(jìn)而對(duì)均熱板進(jìn)行熱阻值量測(cè)。研究結(jié)果中顯示，在毛細(xì)
微結(jié)構(gòu)性質(zhì)部分，325mesh 數(shù)的銅粉在平均收縮率有明顯上升的趨勢(shì)，孔隙率測(cè)試則呈現(xiàn)下降趨勢(shì)，
而在滲透率測(cè)試中，呈現(xiàn)出隨著 mesh 數(shù)的上升，
滲透率有明顯的下降，因此影響了工作流體在均熱板內(nèi)部的
工作情況，使均熱板內(nèi)部微結(jié)構(gòu)產(chǎn)生阻礙導(dǎo)致熱阻值提高