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光學(xué)鏡片表面輪廓與其表面粗糙度檢測(cè)-測(cè)量顯微鏡

為非接觸式鏡片表面輪廓檢測(cè)儀器

用掃描白光干涉儀原理(Scanning White Light Interferometer)進(jìn)行表面輪廓測(cè)量，

并藉由壓電轉(zhuǎn)換器(Piezo-electric Transducer，PZT)帶動(dòng)垂直方向掃描，

進(jìn)而推算出三維的表面輪廓結(jié)構(gòu)，

因此本系統(tǒng)適用于表面有高低起伏的輪廓結(jié)構(gòu)工件與其表面粗糙度測(cè)量，

例如一般光學(xué)鏡片表面輪廓與其表面粗糙度檢測(cè)。本儀器為非接觸式檢測(cè)，可避免一般使
用探針式的機(jī)械測(cè)量方式，容易造成鏡片表面刮傷