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SEM電子顯微鏡觀察微凹型球面模具表面結(jié)構(gòu)

鋁合金 6061 的微凹型球狀模穴加工。工具電極復(fù)合電鍍沉積完
成后，進(jìn)行對鋁合金 6061 的微凹型球面模穴加工，其步驟如下，如圖 3-12
之加工示意圖：

1. 預(yù)先放電一深度 5μm 之凹坑，其主要目的為使精微球狀研磨工
具在研磨工件表面時有引導(dǎo)方向之作用，而不會呈現(xiàn)初始研磨時
球狀研磨工具左右偏擺現(xiàn)象，將放電加工機(jī) Z 軸提升，加入已調(diào)
配好混合游離磨粒之研磨液于放電微凹坑中，以方便進(jìn)行微凹型
球面模穴研磨，并以各種不同之研磨參數(shù)進(jìn)行加工，使微凹型球
面模穴表面能夠達(dá)到理想表面。

2. 利用超音波洗凈設(shè)備將為研磨工具與工件洗滌干凈，SEM電子顯微鏡觀察表面