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研磨加工表面光潔度及顆粒測(cè)量顯微油分析儀器

對(duì)于微型球狀研磨工具而言，由碳化鎢電極經(jīng)放電高溫熔化并 借助由表
面張力原理使其尖端形成球狀，成球形狀精度會(huì)受到峰值電流、脈沖時(shí)間
影響而球狀電極之偏擺角度受到電極轉(zhuǎn)速之參數(shù)影響，而復(fù)合電鍍沉積時(shí)
鍍層的表面平整度、磨粒分布均勻性與鍍層厚度皆受到電流密度、磨粒添
加量、工具轉(zhuǎn)速與電鍍時(shí)間等參數(shù)影響。因此擬控制以上參數(shù)以得到較佳
之制程參數(shù)。

制作出磨粒分布均勻的微型研磨工具，其工具球徑大小、長(zhǎng)度、偏擺
角度、表面磨粒附著量多寡等，皆會(huì)影響研磨加工后的微凹型球面模穴表
面品質(zhì)，所以本研究將再進(jìn)行微凹型球面模穴研磨加工的特性探討，以得
到較佳研磨加工效果