尺寸小和精密電子元件截面分析用立體顯微鏡

  元件截?cái)嗝娣治鐾ǔＳ米鲗?duì)電子元件進(jìn)行故障分析的“最后手段”。剖截?cái)嗝鎸?duì)元
件造成無(wú)法彌補(bǔ)的損壞，進(jìn)而無(wú)法進(jìn)行其他側(cè)試和評(píng)估。在進(jìn)行截?cái)嗝娣治龅脑S多場(chǎng)
合，分析人員要尋找尺寸為1微米或更小的缺陷.由于截?cái)嗝娴钠茐膶傩?，需要透徹了?br>元件。這包括結(jié)構(gòu)、所用材料和關(guān)注的區(qū)域。弄清楚這些內(nèi)容之后，才能制訂分析計(jì)劃。

  由于要求尺寸小和精密，故大多數(shù)電子元件必須在清潔媒質(zhì)中進(jìn)行真空密封。環(huán)
氧樹(shù)脂由于其透明、堅(jiān)固而常常使用。環(huán)氧樹(shù)脂完全固化之后，在與支座一側(cè)平面相
垂直的方向上磨出一個(gè)窗口，為分析人員提供一個(gè)在剖截?cái)嗝嫫陂g觀察元件的窗口。
進(jìn)行真空密封時(shí)，必須遵守幾個(gè)注愈事項(xiàng)。首先，環(huán)氧樹(shù)脂除氣的時(shí)間不能太長(zhǎng)，否則
某些固化劑將蒸發(fā)，從而導(dǎo)致固化劑與環(huán)氧樹(shù)脂的比例不正確。過(guò)度除氣還會(huì)引起環(huán)
氧樹(shù)脂的脫開(kāi)和收縮。新混合的環(huán)氧樹(shù)脂的除氣通常要求暴露在0. 1 Torr氣壓下
1~2分鐘。其次，環(huán)氧樹(shù)脂固化是放熱反應(yīng)，可能產(chǎn)生足夠的熱量損壞某些元件。將
支座放人淺水盤(pán)中可以吸收大量的熱。

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