高倍顯微鏡用于可見(jiàn)邊界

  如果薄層厚度大于幾微米，并且是透明的，那么將顯微鏡先聚焦于
一表面，再聚焦于另一表面，然后以被測(cè)得的間隔乘上折射率來(lái)計(jì)算厚
度。不論是具有校正的垂直運(yùn)動(dòng)的普通顯微鏡，還是帶有刻度盤(pán)指示器
的工具顯微鏡，這種方法都能使用。為了縮減視野深度，更精確地分辨
兩個(gè)表面，應(yīng)該使用高倍物鏡。

硅（例如多晶硅上二氧化硅上的硅（DI））或砷化稼的觀察，可使用一種
紅外線顯微鏡。雖然有時(shí)界面是十分粗糙的以至可以看到一些痕跡，但是用
這種方法來(lái)看外延層或擴(kuò)散層的邊界一般是不可能的

  使用剖面計(jì)用機(jī)械的探針穿過(guò)階梯可提供一個(gè)既快又簡(jiǎn)單的高度測(cè)
量方法。它能測(cè)量幾百埃到幾微米的高度，可用立體顯微鏡來(lái)確定針尖
下的樣品位置。如果在薄層上腐蝕一個(gè)狹窄的凹槽或一小孔而形成階梯
的話，那就應(yīng)該考慮凹槽和針尖的相對(duì)尺寸。對(duì)于微電路技術(shù)所用到的
那種微分辨率而言，布反可能產(chǎn)生非。

  常窄的凹槽，使針尖測(cè)量不到底部。這種方法適用于外延層的測(cè)量，
因?yàn)橛醚趸?，或氮化硅層，] 局部地掩蔽原表面，然后除去長(zhǎng)在上面
的東西，就能形成階梯。

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