通常自動(dòng)化光電測量顯微鏡精度為0.1-1μm左右

  使用刻度尺測量，首先必須知道刻度的中心位置，其次，
必須知道自刻度中心算起的刻度小數(shù)部份.為了能精確地知
道刻度的中心位置，就必須用光電顯微鏡。

  近來，刻度尺的刻線是用高精度的刻線法刻制成的。這
種高精度的刻線法，有光波干涉法，在后面敘述。在主動(dòng)測量
中，使用刻度尺較少，這是因?yàn)樗闹甘緶y量精度還不理想。

  由人來測量刻線的中心位置時(shí)，可使用一般的顯微鏡。
為了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，必須使用光電顯微鏡。通常，前者的精度為
1μm，后者為0.1μm。使用光電顯微鏡可以減少人為的誤差。

  在一般的情況下，光電顯微鏡的狹縫，靜止地、自動(dòng)地對
刻線中心是困難的。例如狹縫T相對于光軸(圖中照明系統(tǒng)
為水平軸)垂直對稱地振動(dòng)。由于T的振動(dòng)，光線照明刻度尺
并在刻線左右掃描。如果刻線位于顯微鏡的光軸上，則掃描相
對于刻線左右對稱，因此光電管的輸出波形為等間隔的。

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載須注明網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)