測量工件表面粗糙度和幾何圖形輪廓測量儀器

  測量工件表面粗糙度和幾何圖形方法的適用性正在研究中，
對于簡單的表面已得到了和機械測量相一致的結(jié)果，下一步是要
修正更復雜表面所得到的結(jié)果，如車削、磨削和研磨的表面粗糙
度，完成了這一點，儀器量程便從現(xiàn)在的10微米或更大，這將極
大地提高它的使用性能。

  顯微鏡還存在由于儀器目前的結(jié)構所強加的某些限制，例如
它不能用于測量小孔且需移動工件，末琮的工作計劃是探索更合
理的結(jié)構以克服這種限制，例如用激光束掃描工件表面。

  與機械式儀器相比，離子激光裝置的價值較高，使其受到進
一步的限制，但這究竟只是一方面的觀點，在那些接觸法不合適
的場合，這種類型的儀器將會有很多用途，同時還可用于標準實
驗室代替機械式儀器。

  研究顯微結(jié)構時，通常將客體放大數(shù)百倍至千倍，即其觀察
細度為微米數(shù)量級；而研究微觀結(jié)構時放大倍數(shù)可達數(shù)百萬保，
其分析細度可達數(shù)埃。故顯微結(jié)構又稱關微觀結(jié)構。

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復制http://www.sgaaa.com)