在華為、中芯國(guó)際等公司經(jīng)歷了一系列關(guān)于半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)的事件后，我們現(xiàn)在充分認(rèn)識(shí)到光刻機(jī)設(shè)備在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的核心重要性。特別是中芯國(guó)際，在被美國(guó)列入實(shí)體名單后，將來(lái)將無(wú)法購(gòu)買ASML極紫外光刻機(jī)EUV。這也意味著中芯國(guó)際要發(fā)展7nm下半導(dǎo)體先進(jìn)制程之路被完全鎖定。

　　一臺(tái)EUV鎖定中國(guó)先進(jìn)制程發(fā)展之路

　　但事實(shí)上，比中芯國(guó)際更糟糕的是，中國(guó)現(xiàn)在需要的高端儀器設(shè)備幾乎完全依賴國(guó)外進(jìn)口，從科研到新技術(shù)研發(fā)，再到工業(yè)制造和醫(yī)療保健。如果這些儀器設(shè)備在國(guó)外停止銷售，中國(guó)的科技之路很容易被鎖定。

　　這絕不是危言聳聽(tīng)，因?yàn)楝F(xiàn)在無(wú)論是科學(xué)研究、技術(shù)研發(fā)還是工業(yè)生產(chǎn)，都完全離不開(kāi)先進(jìn)儀器設(shè)備的輔助。這就是為什么2017年諾貝爾化學(xué)獎(jiǎng)授予冷凍電子顯微鏡技術(shù)的三位創(chuàng)始人。這是因?yàn)殡S著冷凍電子顯微鏡技術(shù)的推廣，在生命科學(xué)領(lǐng)域發(fā)現(xiàn)了大量重大研究成果。然而，在高端先進(jìn)儀器設(shè)備的自主研發(fā)領(lǐng)域，中國(guó)仍然面臨著幾乎空白的困境。

　　在科學(xué)研究?jī)x器領(lǐng)域，如果你進(jìn)入國(guó)內(nèi)著名大學(xué)或研究機(jī)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)室，你會(huì)發(fā)現(xiàn)幾乎所有的高端儀器，如高分辨率質(zhì)譜儀，大多數(shù)生命科學(xué)儀器，如磁共振成像儀，超分辨率熒光成像儀，以及上述冷凍透射電子顯微鏡，都依賴進(jìn)口。此外，幾乎所有常用的氣相、色譜、光譜等測(cè)量?jī)x器都是從國(guó)外進(jìn)口的，只有一些沒(méi)有技術(shù)含量的設(shè)備，如搖床、水浴罐、離心機(jī)等，才能看到國(guó)產(chǎn)的。

　　然而，進(jìn)口外國(guó)儀器的價(jià)格相當(dāng)高。以冷凍電子顯微鏡為例。2020年上半年，由于疫情的影響，與2019年同期的8套相比，電子顯微鏡采購(gòu)項(xiàng)目減少到3套，但采購(gòu)成本已達(dá)1.3億元，一套冷凍電子顯微鏡的平均價(jià)格為4000萬(wàn)元。然而，中國(guó)的冷凍電子顯微鏡市場(chǎng)幾乎被美國(guó)科技儀器巨頭賽默飛世爾所占據(jù)（ThermoFisher）壟斷。其他高端科研儀器也是如此，幾乎都被國(guó)外科技儀器巨頭壟斷。

　　四千萬(wàn)套冷凍電鏡

　　不僅僅是科研儀器。用于工業(yè)生產(chǎn)和新技術(shù)開(kāi)發(fā)的高端儀器設(shè)備也需要從國(guó)外進(jìn)口。我們都知道，如果你想生產(chǎn)公差精度為0.1mm的產(chǎn)品，你的測(cè)量?jī)x器的精度應(yīng)該高于0.1mm。因此，如果你想生產(chǎn)一些純度高、精度高的產(chǎn)品，生產(chǎn)中使用的測(cè)量?jī)x器的精度會(huì)更高，這些精度測(cè)量?jī)x器只能進(jìn)口。例如，菲美特的露點(diǎn)儀和氧分離器。

　　再比如，如果你接觸過(guò)通信產(chǎn)品信產(chǎn)品，你應(yīng)該聽(tīng)說(shuō)過(guò)羅德·施瓦茨和安捷倫?？梢哉f(shuō)，如果你想在通信產(chǎn)品領(lǐng)域進(jìn)行研發(fā)和生產(chǎn)測(cè)試，你不能繞過(guò)這兩種通信儀器。這種通信儀器需要數(shù)十萬(wàn)甚至數(shù)百萬(wàn)，需要購(gòu)買大量的機(jī)器來(lái)滿足生產(chǎn)和研發(fā)的需要。

　　羅德施瓦茨的CMW500個(gè)整齊的模塊

　　在醫(yī)療診斷儀器設(shè)備領(lǐng)域，對(duì)國(guó)外的依賴程度更加嚴(yán)重，如核磁共振光譜儀。截至2018年，中國(guó)核磁共振光譜儀的市場(chǎng)所有權(quán)約為1800臺(tái)，美國(guó)瓦里安(Varian)日本電子占有約300臺(tái)，日本電子占有約300臺(tái)(JEOL)50臺(tái)，武漢中科牛津波譜50臺(tái)，剩下的1400臺(tái)基本都是德國(guó)布魯克(Bruker)可以說(shuō)，公司的生產(chǎn)基本上被國(guó)外設(shè)備壟斷。此外，還有圖像CT，X線正電子發(fā)射斷層掃描儀等，也被國(guó)外壟斷。

　　從這些可以看出，如果高端儀器的銷售在國(guó)外停止，我們的科研工作就無(wú)法開(kāi)展，新技術(shù)的研發(fā)只能停滯不前，甚至醫(yī)療衛(wèi)生系統(tǒng)也可能倒退。換句話說(shuō)，沒(méi)有這些高端儀器設(shè)備，我們的科技發(fā)展道路將被鎖定。因此，我們現(xiàn)在面臨的一個(gè)主要問(wèn)題是如何打破這種局面，擺脫科學(xué)研究和發(fā)展的困境（會(huì)有后續(xù)文章，請(qǐng)關(guān)注小編，請(qǐng)期待）