加拿大OCI公司推出新型多功能分子束外延生長裝置IMBE300

?

我司全權(quán)代理的加拿大OCI公司近期首次推出世界上最新型多功能分子束外延生長裝置IMBE300。該裝置在一臺裝置上同時可集成如下6大技術(shù)使之尤為引人矚目。

1.? 帶有7個蒸發(fā)源的MBE

2.? 低能電子衍射儀

3.? 俄歇電子能譜儀

4.? X射線光電子能譜儀

5.? 反射高能電子衍射儀

6.? 熱脫附質(zhì)譜儀

?

該裝置實(shí)現(xiàn)了如下的設(shè)計(jì)制造目標(biāo):在一個超高真空腔體上完成外延生長過程集成監(jiān)控，2-D結(jié)晶狀態(tài)跟蹤以及原位成分/電子能帶分析。

具體說來有如下特點(diǎn)。

1.? 在薄膜生長后無需傳送到另外的超高真空室進(jìn)行分析。

2.? 在蒸發(fā)和表面分析之間只需很短的切換時間。

3.? 具有傳送臂和試樣存儲機(jī)構(gòu)的樣品室。

4.? 試樣傳送機(jī)構(gòu)和其他系統(tǒng)兼容，SPM和SEM。

敬請國內(nèi)材料工作者來電咨詢合作。參見下面圖片說明。

?