成果名稱

電子束加熱控制器

單位名稱

中科院物理研究所

聯(lián)系人

郇慶

聯(lián)系郵箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

□正在研發(fā) ?□已有樣機(jī) ?□通過(guò)小試 ?□通過(guò)中試 ?√可以量產(chǎn)

合作方式

√技術(shù)轉(zhuǎn)讓 ??√技術(shù)入股 ? □合作開(kāi)發(fā)? √其他

成果簡(jiǎn)介：
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? ? 電子束加熱是實(shí)驗(yàn)中經(jīng)常用到的樣品加熱、蒸發(fā)和處理方式，加熱中需要給燈絲提供電流、提供所需的高壓電源甚至還需要束流檢測(cè)和反饋控制。該電子束加熱控制器集成了電子束加熱所需的全部功能，可以在手動(dòng)、恒壓、恒發(fā)射電流、恒加熱功率以及束流反饋等多種模式下工作。采用ARM為核心的主控系統(tǒng)和5.6寸觸摸液晶屏，操作簡(jiǎn)便、界面友好。具備以太網(wǎng)口、USB口等多種數(shù)字接口，可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)輸出、固件的遠(yuǎn)程更新和遠(yuǎn)程故障診斷。目前該設(shè)備已在國(guó)內(nèi)外多家單位進(jìn)行了嘗試性推廣，包括中科院物理所、清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、中國(guó)科技大學(xué)、武漢物數(shù)所、美國(guó)伊利諾伊大學(xué)芝加哥分校等，反響很好。其主要技術(shù)指標(biāo)為：
? ? ? ? ? 最大輸出功率:?????????????? ? ?250W
? ? ? ? ? 輸出電壓范圍：????????????? ? ?0~2KV
? ? ? ? ? 輸出電流范圍：????????????? ? ?0~125mA
? ? ? ? ? 燈絲電流：????????????????? ? ?0~3A
? ? ? ? ? 工作模式:?????????????????? ? ?手動(dòng)/自動(dòng)（恒壓、恒發(fā)射電流、恒加熱功率、恒束流）
? ? ? ? ? 束流檢測(cè)范圍:?????????????? ? ?100pA~1mA 最小分辨率為1pA ?

應(yīng)用前景：
? ? ?主要用于電子束加熱樣品臺(tái)、電子束加熱蒸發(fā)源等裝置，也可單獨(dú)作為手動(dòng)高壓電源使用。應(yīng)用范圍廣，估計(jì)每年國(guó)內(nèi)市場(chǎng)需求在百套以上。

知識(shí)產(chǎn)權(quán)及項(xiàng)目獲獎(jiǎng)情況：
發(fā)明專利：201410527768.4
? ? ? ? ? 201510220859.8