? ? ? ?近期，光學(xué)儀器領(lǐng)導(dǎo)品牌德國蔡司公司推出了全新的Smartproof 5快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡。 Smartproof 5快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡作為蔡司共聚焦顯微鏡家庭的新成員，以共聚焦光學(xué)為基本原理，采用專利技術(shù)高速轉(zhuǎn)盤掃描為成像方法，將高分辨率與速度完美結(jié)合在一起，是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓，實現(xiàn)快速非接觸式表面粗糙度測量的高端精密儀器。

? ? ? ?Smartproof 5擁有業(yè)內(nèi)最佳的高分辨率和最高共聚焦成像速度，專利的轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)有效地減少獲取分析結(jié)果的時間。集成和穩(wěn)固設(shè)計確保無附加防振設(shè)備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用，獨有的操作者模式適合工業(yè)生產(chǎn)的批量檢測任務(wù)，能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她最尖端的光學(xué)技術(shù)和基于用戶的設(shè)計理念，再次向世界證明了光學(xué)領(lǐng)導(dǎo)品牌的地位。

產(chǎn)品優(yōu)勢

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l? 高分辨

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? ? ??由于采用了共聚焦成像原理，Smartproof 5將傳統(tǒng)光學(xué)分辨率提高1.4倍，其XY方向線分辨率達(dá)到120 nm。

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l? 高測量精度

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? ? ??同時，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎(chǔ)上，Smartproof 5配備了精度高、重復(fù)性好的Z軸自動步進(jìn)裝置，最小步進(jìn)精度達(dá)到1nm，這使得高度上亞微米，甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

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l? 高速掃描

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? ? ??傳統(tǒng)共聚焦采用點掃描成像，速度較慢；而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描，成像速度是傳統(tǒng)共聚焦顯微鏡的2-3倍，最快的高精度模式掃描速度超過50幅/秒（2048*2048分辨率），可以說瞬間即可得到測量結(jié)果，大大提高工作效率。

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l? 真實色彩還原

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? ? ??還可使用三色LED 光源，能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實顏色，從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應(yīng)用領(lǐng)域。

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應(yīng)用實例：

臺階高度標(biāo)樣測試（標(biāo)準(zhǔn)高度1.777±0.011mm，NIST認(rèn)證），實測臺階高度1.772mm。

上圖：三維偽彩圖；下圖：二維輪廓線圖。

粗糙度標(biāo)樣測試結(jié)果。標(biāo)準(zhǔn)粗糙度Ra = 2.97mm，實測Ra=2.962mm。

20x物鏡，4x1三維拼接，cut-off值取1/5取樣長度。

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