成果名稱

高通量組合薄膜制備及原位表征系統(tǒng)

單位名稱

中科院物理研究所

聯(lián)系人

郇慶

聯(lián)系郵箱

qhuan_uci@yahoo.com

成果成熟度

√正在研發(fā) □已有樣機(jī) □通過小試 □通過中試 □可以量產(chǎn)

合作方式

√技術(shù)轉(zhuǎn)讓 ??√技術(shù)入股 ? □合作開發(fā)? √其他

成果簡介：
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? ? 隨著“材料基因組計(jì)劃”的興起，人們對新的實(shí)驗(yàn)手段，特別是高通量高空間分辨率的材料制備和性能測試方法提出了迫切的要求。正是針對于此，我們開發(fā)了這套“高通量組合薄膜制備及原位表征系統(tǒng)”，基于完全自主知識產(chǎn)權(quán)的新型生長機(jī)理制備高通量組合薄膜。同時(shí)，通過結(jié)合特殊設(shè)計(jì)的掃描隧道顯微鏡，可實(shí)現(xiàn)對所制備薄膜的原位超高分辨表征。尚在研發(fā)中，主要技術(shù)指標(biāo)待測。

應(yīng)用前景：
? ? ?應(yīng)用前景尚不明確。

知識產(chǎn)權(quán)及項(xiàng)目獲獎(jiǎng)情況：
? ? ?發(fā)明專利：201510446068.7、201510524841.7