成果名稱

高速外延片PL譜掃描成像儀

單位名稱

北京中拓機(jī)械集團(tuán)有限責(zé)任公司

聯(lián)系人

徐杰

聯(lián)系郵箱

ct_kfjx@126.com

成果成熟度

□正在研發(fā) √已有樣機(jī) □通過小試 □通過中試 □可以量產(chǎn)

合作方式

□技術(shù)轉(zhuǎn)讓? ?□技術(shù)入股? ?□合作開發(fā)?? √其他

成果簡介： ? ??

? ? 高速外延片PL譜掃描成像儀利用線激光器激發(fā)熒光光譜，利用光譜儀及面陣EMCCD對線熒光采集和光譜分析。這種熒光光譜采集方式較傳統(tǒng)點(diǎn)掃描方式，采集速度快，可在短時(shí)間內(nèi)獲得高密度點(diǎn)的光譜信息，即1分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)4萬點(diǎn)的掃描采集,采集速度提高20倍，波長測量重復(fù)精度優(yōu)于±0.5nm，光強(qiáng)度穩(wěn)定性優(yōu)于±0.75%。

應(yīng)用前景：
? ? ?該設(shè)備主要用于LED半導(dǎo)體晶片的熒光光譜檢測及太陽能晶片的檢測，其中LED半導(dǎo)體晶片熒光光譜檢測的市場年需求量約50臺(tái)，市場銷售額約為4000萬元人民幣，針對太陽能晶片熒光光譜測量領(lǐng)域，目前己有設(shè)備只能測得熒光光譜強(qiáng)度，并不能獲得熒光光譜譜線形狀，及光譜波長等細(xì)信息，該設(shè)備可快速獲得太陽能晶片的熒光光強(qiáng)及光譜信息，具有獨(dú)特的技術(shù)優(yōu)勢，預(yù)計(jì)太陽能晶片的市場年需求量約在20臺(tái)左右，市場銷售額約為2000萬元人民幣。

知識(shí)產(chǎn)權(quán)及項(xiàng)目獲獎(jiǎng)情況：
? ? ?該產(chǎn)品獲得3項(xiàng)發(fā)明專利：半導(dǎo)體晶片的高速熒光光譜檢測裝置、半導(dǎo)體晶片的托起裝置、半導(dǎo)體晶片的檢測裝置。
? ? ?該項(xiàng)目獲得北京市科委“2014年首都科技條件平臺(tái)科學(xué)儀器開發(fā)培育項(xiàng)目”的專項(xiàng)資金資助。