多光束顯微鏡的原理表面鍍層粗糙度計量顯微鏡

  光學技術多光束干涉顯微鏡——在各種各樣的光學顯微鏡
中，干涉顯微鏡是最經(jīng)常用來獲得表面形貌定量信息的一種儀
器，給干涉顯微鏡作了評論，研制的多光束干涉顯微旬，由于
它非常靈敏，精巧和成本低，在近十年內(nèi)已得到廣泛普及，干
涉顯微鏡最簡單的表演是大家所熟悉的牛頓環(huán)的實驗一在個凸
透鏡上放一塊平板玻璃片，通過低倍率顯微鏡觀察，從透鏡表
面和正好在平面的同一點上反射回來的相干光束，形成一系列
黑白相間的干涉環(huán)，從平面和透鏡的接觸點開始，按半波長的
倍數(shù)計算，每當表面離開這一距離時就出現(xiàn)一個環(huán)。

  在多光束干涉顯微鏡中，平玻璃片的下表面舉涂的銀層或
鍍一系列特殊的介質膜，后者可能把反射率上升到97% ，在牛
頓環(huán)實驗中如果用所研究的金屬替換凸透鏡，于是光線在穿過
銀膜層返回以前，在表面和銀膜層之間來回多次反射，這種多
次反射光使干涉條紋變得顯著地尖銳，對于高反射北的表面和
97% 反射系數(shù)的鍍銀薄膜，條紋寬度可達到條紋間距的1%那么
小。

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