粗糙度高度值與工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)相比較用專業(yè)光學(xué)圖像顯微鏡

  實(shí)驗(yàn)工作的目的是為了證明富里衰光學(xué)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)可用作表面粗糙
度測(cè)量的儀器，標(biāo)準(zhǔn)樣板粗糙度高度值和轉(zhuǎn)換圖象之間在最小二乖
法意義上講將呈現(xiàn)線性相關(guān)關(guān)系，為了解決由于各向異性的散射光
分布引起復(fù)雜性和提供有用的信號(hào)平均值，實(shí)驗(yàn)時(shí)使用一維富里光
學(xué)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，

將精研或磨削金屬樣本直接放
在正方形孔的后面，并用在分光鏡面反射光和光軸調(diào)整成同一直線
，表面上反射和散射的光線用一片轉(zhuǎn)換透鏡和一片圓柱艬來(lái)加收集
，圓柱透鏡能繞光軸自由旋轉(zhuǎn)，并在探測(cè)器平面上形成一維富里光
譜，如圖中所示，調(diào)整這些透鏡的位置使被照射的表面在軸的方向
上成象，而在方向上的空間頻率分布不受圓柱透鏡的影響，其它方
向的定位靠圓柱透鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)，探測(cè)器的平面定位于轉(zhuǎn)換透鏡
后焦面和圓柱透鏡的象平面的公共面上，在軸方向的圖象尺寸是任
選的，并取決于轉(zhuǎn)換一圓柱透鏡組。

  將表面粗糙度刻線樣板和 精密加工比較樣板作為表面粗糙度的
典型試樣，比較樣板是其粗糙度高度值為已知的母板的鍍鎳復(fù)制品
，該粗糙度高度值與工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)相一致，取樣長(zhǎng)度即與樣板的聯(lián)系的
粗糙度約為0.75mm（即保持主要顯微結(jié)構(gòu)的間隔變化，包括粗糙度
高度和相關(guān)長(zhǎng)度因素在內(nèi)）

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