將超表面透鏡和MEMS技術(shù)相結(jié)合，或能為光學系統(tǒng)帶來高速掃描和增強的聚焦能力。

　　目前，透鏡技術(shù)在各個領(lǐng)域都獲得了長足的發(fā)展，從數(shù)碼相機到高帶寬光纖，再到激光干涉儀引力波天文臺 LIGO的儀器設(shè)備等?，F(xiàn)在，利用標準的計算機芯片制造技術(shù)開發(fā)出了一種新的透鏡技術(shù)，或?qū)⑻娲鷤鹘y(tǒng)曲面透鏡復雜的多層結(jié)構(gòu)和幾何結(jié)構(gòu)。

　　集成在MEMS掃描器上的基于超表面技術(shù)的平面透鏡(超級透鏡)，左圖為掃描電鏡圖片，右圖為光學顯微成像圖片。在MEMS器件上集成超級透鏡，將有助于整合高速動態(tài)控制和精確波陣面空間控制優(yōu)勢，打造光控制新模型

　　與傳統(tǒng)曲面透鏡不同，基于超表面光學納米材料的平面透鏡相對更輕。當超表面亞波長納米結(jié)構(gòu)形成某種重復圖紋時，它們便可以模仿能夠折射光線的復雜曲度，但是體積更小，聚光能力更強，同時還能減少失真。不過，大部分這種納米結(jié)構(gòu)器件都是靜態(tài)的，功能性有限。

　　據(jù)麥姆斯咨詢報道，超級透鏡技術(shù)開拓者——美國哈佛大學應用物理學家Federico Capasso，和MEMS技術(shù)早期開發(fā)者——美國阿爾貢國家實驗室納米制造和器件小組負責人Daniel Lopez，他們倆來了一番頭腦風暴，為超級透鏡增加了運動控制能力，例如快速掃描和光束控制能力，或?qū)㈤_辟超級透鏡新應用。

　　Capasso和Lopez聯(lián)手開發(fā)了一款器件，在MEMS上集成了中紅外光譜超級透鏡。他們將該研究成果發(fā)表在了本周的《APL Photonics》期刊上。

　　MEMS是一種結(jié)合微電子和微機械的半導體技術(shù)，在計算機和智能手機中可以找到，包括傳感器、執(zhí)行器和微齒輪等機械微結(jié)構(gòu)。MEMS現(xiàn)在幾乎無處不在，從智能手機到汽車安全氣囊、生物傳感器件以及光學器件等，MEMS可以借助典型計算機芯片中的半導體技術(shù)完成制造。