微觀幾何特征，

在微米和亞微米范圍內(nèi)對結(jié)構(gòu)的精確測量變得越來越重要。因為
無限的小型化，對于產(chǎn)品的分辨率和微電子與微觀結(jié)構(gòu)的度量是很重
要的，對于微粒尺寸分布的測量也很重要，例如，在環(huán)境保護中的應
用。大量的測量方法適用于完成這些任務，它由傳統(tǒng)光學顯微鏡范圍
延伸到紫外線范圍。通過電子顯微鏡到高分辨率近場顯微鏡方式，例
如，原子力顯微鏡。

光學顯微鏡包括普通的明暗場顯微鏡，共焦顯微鏡，在可見光譜
和紫外線范圍內(nèi)的干涉顯微鏡。作為非微觀的附加特征，物體的遠場
衍射成像能被估算出。對于照射在物體上的放射光線的互相影響的基
本研究和理論模型，都是對這些方法的額外的幫助。非光學的高分辨
率顯微鏡測量方法[掃描電子顯微鏡(SME)，原子力顯微鏡(AFM)等]普
遍應用于檢查和評估微觀幾何構(gòu)造。這些是光學顯微鏡方法所不能解
決的，作為對光學測量方法的補充。在對用于物體結(jié)構(gòu)的掃描探針和
顯微鏡系統(tǒng)特定擴張之間的互相作用做進一步研究之后．例如，附加
精密長度測量系統(tǒng)，高分辨率顯微鏡方法也用于校正。目前為止，這
種方法還不太可能，因為光學方法原理在能夠?qū)崿F(xiàn)的分辨率方面還受
限制。

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