步進(jìn)方法

光電尺寸測量方法通常用帶有步進(jìn)分度的刻度尺(或角度盤)作為
實(shí)物量具。它的適用范圍從大約50ram的探針封裝系統(tǒng)到長度范圍達(dá)
到30m的鋼帶。測量值用前部或后部照明的方法獲得。前部照明的方
法，刻度包括兩個相同寬度的相互交錯類型的線：一種線的類型(例
如，金涂層)直接反射入射光線；另一種是漫反射，刻度尺的襯底材
料是鋼。如果用背部照明的方法，用鉻線組成的刻度區(qū)域適用于半透
明的玻璃襯底。某種程度上玻璃陶瓷也被應(yīng)用上，但對熱膨脹不靈敏
。例如微晶玻璃。在這一點(diǎn)上鉻線阻止了光線穿過玻璃刻度尺。

用這兩種方法，測量值的獲得都是通過取樣板相對刻度尺的移動
產(chǎn)生明暗交替的變化，用光敏傳感器探測到的。取樣板由帶有與刻度
尺相同間隔刻度的半透明材料組成。高分辨率刻度尺與內(nèi)插運(yùn)算法結(jié)
合，可獲得低于毫微米的分辨率。通過應(yīng)用間距為四分之一區(qū)域周期
的取樣光柵，可以獲得刻度尺和取樣板之間相對運(yùn)動方向的信息。

通過附著在刻度尺旁的單獨(dú)軌道的參考標(biāo)志，可以建立絕對參考
物。為了避免每次打開電源都要回到參考標(biāo)志的位置，尤其是長刻度
尺，距離信號代碼在參考標(biāo)志軌道上經(jīng)常應(yīng)用。以主刻度區(qū)域的刻度
標(biāo)志的形式，在參考標(biāo)志之間定義了不同的距離，因此不再經(jīng)過兩個
距離代碼參考標(biāo)志，就可以測量到絕對位置測量方法用刻度尺和半透
明、不透明區(qū)域交替變化的取樣板來描述，利用所測量光振幅的變化
實(shí)現(xiàn)尺寸的測量。

更進(jìn)一步的步進(jìn)式光電測量方法是基于干涉原理。光相位調(diào)制用
于尺寸測量。前部照明的測量方法用一個刻度尺和帶有相位光柵的取
樣板。金阻流板附著在金的涂層表面；

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