微模鑄技術微米級的加工工藝使用原子顯微鏡

  深反應離子刻蝕為制造用于大規(guī)模生產的主模具提供了一種技
術途徑。與微模鑄技術聯(lián)合運用的話，可以制造種類繁多的微產品
。以深反應離子刻蝕加工深溝槽的方法被用于制造可調諧的電容器
。
  在納米加工領域中，微米級的加工工藝可以制作用于原子力顯
微鏡的懸臂梁探針，該結構可以在硅和其他材料上以直寫方式復制
結構圖形。本書闡釋了其中兩個問題，是如何開發(fā)微米加工工藝，
并通過加工來逐一生產出產品，二是如何通過制造工程來生產多個
微產品。如何通過微米加工手段來制作原子力顯微鏡的懸臂梁的示
例。對用硅和玻璃構成的懸臂梁進行腐蝕后，可以加工出制作探針
所需的結構圖形，該探針用于在襯底表面上的直寫。這種類型的懸
臂梁可用于在納米加工中形成特定結構

  在懸臂梁加工過程中．利用各向異性腐蝕在硅晶圓的(100)表
面上形成凹坑。在該晶圓表面和凹坑中淀積一層氮化硅膜。支撐針
尖的梁的制備方法是：將玻璃基片上的硅除去，只余下與金屬方塊
連接的氮化硅懸臂梁。

基于軟刻印的納米加工
  納米加丁技術的發(fā)展的動力源于提升單片硅上晶體管密度的直
接需求。然而，納米加工技術也可以用于開發(fā)那些并非面向半導體
行業(yè)的產品。例如，正在開發(fā)用于構建諧振隧道二極管、三極管以
及單電子晶體管與碳納米管晶體管的納米加丁技術。目前正在開發(fā)
中的、面向納米級應用的晶體管中，最常見的類型是場效應晶體管
。

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