2018年10月18日，清華大學(xué)發(fā)布了“高分辨高靈敏度表面分析系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目”中標(biāo)公告，TESCAN S9000X氙等離子源雙束FIB系統(tǒng)成功中標(biāo)！TESCAN S9000X是TESCAN于今年剛剛發(fā)布的最新型氙等離子源FIB雙束電鏡系統(tǒng)。這次成功中標(biāo)，也意味著在中國(guó)非半導(dǎo)體行業(yè)，擁有了第一臺(tái)氙等離子源的雙束FIB系統(tǒng)。

中標(biāo)清華大學(xué)“高分辨高靈敏度表面分析系統(tǒng)采購(gòu)項(xiàng)目”

本項(xiàng)目的最終用戶為清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院中心實(shí)驗(yàn)室，該中心實(shí)驗(yàn)室始建于1980年，當(dāng)時(shí)稱為清華大學(xué)材料科學(xué)研究所中心實(shí)驗(yàn)室。此后實(shí)驗(yàn)室得到快速發(fā)展，目前中心實(shí)驗(yàn)室的公用平臺(tái)有各類大型精密分析測(cè)試儀器50多臺(tái)套，在儀器及其功能數(shù)量方面，與同類實(shí)驗(yàn)室相比，在國(guó)內(nèi)處于領(lǐng)先地位。

清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院中心實(shí)驗(yàn)室是面向全校和校外開(kāi)放服務(wù)的分析測(cè)試平臺(tái)，為清華大學(xué)校內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域的研究人員、科學(xué)家、工程師提供服務(wù)，主要做材料的結(jié)構(gòu)、組分及性能的測(cè)試分析，因此對(duì)材料微區(qū)表面的分析具有很高的要求，而這也是TESCAN微分析綜合解決方案的優(yōu)勢(shì)所在。

清華大學(xué)材料學(xué)院逸夫樓—中心實(shí)驗(yàn)室所在址

本次項(xiàng)目采購(gòu)的設(shè)備主要用于高分辨表面形貌分析、微區(qū)的高靈敏度成分、結(jié)構(gòu)分析及快速的三維重構(gòu)等應(yīng)用，而中標(biāo)的系統(tǒng)是TESCAN S9000X氙等離子源雙束FIB，配置了TESCAN獨(dú)有的共聚焦拉曼（Raman）聯(lián)用系統(tǒng)及飛行時(shí)間—二次離子質(zhì)譜（TOF-SIMS）聯(lián)用系統(tǒng)，再加上第三方提供的EDS、EBSD，構(gòu)建了一整套高分辨、高靈敏度的微觀綜合分析系統(tǒng)。

這是目前國(guó)內(nèi)第一臺(tái)在氙等離子源FIB上配置的“顯微綜合分析平臺(tái)”，集微觀形貌、元素分析、取向分析、結(jié)構(gòu)分析、分子組成、結(jié)晶及應(yīng)力等多種信息表征為一體，是TESCAN“All-In-One”微區(qū)綜合表征理念的完美體現(xiàn)！同時(shí)，這臺(tái)設(shè)備也是國(guó)內(nèi)第6套電鏡-拉曼聯(lián)用系統(tǒng)和第5套雙束電鏡-飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜聯(lián)用系統(tǒng)。

清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院中心實(shí)驗(yàn)室

自2011年，TESCAN全球首次推出氙等離子源FIB系統(tǒng)，到如今的S9000X系統(tǒng)，產(chǎn)品已經(jīng)發(fā)展到第四代，在軟硬件設(shè)計(jì)、電子槍、離子槍的性能等方面都有了很大提升，S9000X氙等離子源雙束FIB系統(tǒng)，目前已可以實(shí)現(xiàn)1mm視野的大面積加工。

氙等離子源的FIB系統(tǒng)相比于傳統(tǒng)的鎵離子源FIB系統(tǒng)，具有切削加工速度快（束流最高可達(dá)2uA，是鎵離子FIB的50~60倍）、注入效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn)，是大尺寸快速加工、大體積三維重構(gòu)、高質(zhì)量TEM樣品制備的有力工具，以往需要耗時(shí)多日才能完成的工作，借助Xe Plasma FIB系統(tǒng)，在幾個(gè)小時(shí)之內(nèi)便可全部完成，這極大地提高了科研效率。

?TESCAN S9000X氙等離子源雙束FIB系統(tǒng)

除清華大學(xué)材料科學(xué)與工程研究院中心實(shí)驗(yàn)室（即材料學(xué)院分析測(cè)試中心）剛剛采購(gòu)的這臺(tái)設(shè)備外，上海交通大學(xué)分析測(cè)試中心也采購(gòu)了類似的“顯微綜合分析”系統(tǒng)，其中雙束FIB—飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜聯(lián)用系統(tǒng)已投入使用1年多，為客戶解決了諸多問(wèn)題；而與共聚焦拉曼的聯(lián)用系統(tǒng)也將在今年11月，在新實(shí)驗(yàn)樓驗(yàn)收后安裝。

TESCAN獨(dú)有的微分析綜合解決方案能迅速受到市場(chǎng)的認(rèn)可和歡迎，充分體現(xiàn)了TESCAN電鏡在微區(qū)綜合分析能力上的強(qiáng)大優(yōu)勢(shì)。

更值得一提的是，TESCAN產(chǎn)品“All-In-One”的設(shè)計(jì)理念，使得用戶可以在后期根據(jù)需要，非常方便地加配原子力顯微鏡、EBL、EBIC、CL及原位的加熱臺(tái)、冷臺(tái)、拉伸臺(tái)等探測(cè)器和分析拓展附件，為科研成功創(chuàng)造更多可能！

另一則好消息：

為了讓更多老師了解并體驗(yàn)到“ TESCAN 微分析綜合解決方案”，2018 年10月23-27日，將在成都市舉行的“2018全國(guó)電子顯微學(xué)學(xué)術(shù)年會(huì)”上，TESCAN 將展出 RISE 電鏡-拉曼聯(lián)用系統(tǒng)，并開(kāi)展現(xiàn)場(chǎng) Demo 演示和午餐交流會(huì)，望感興趣的老師撥冗參觀體驗(yàn)！

現(xiàn)場(chǎng)Demo演示和每日午餐交流會(huì)已于9月30日起開(kāi)始接受預(yù)約，您可以關(guān)注“TESCAN公司”微信公眾號(hào)，訪問(wèn)歷史推送立刻預(yù)約喔！

更多內(nèi)容詳情，請(qǐng)關(guān)注“TESCAN公司”微信公眾號(hào)。