目前先進(jìn)的FIB系統(tǒng)為雙束，即離子束和電子束(FIB-SEM)系統(tǒng)，也就是在SEM微觀成像實(shí)時(shí)觀察下，用離子束進(jìn)行微納加工，具有離子注入、離子濺射、TEM試樣制備等多種功能。

而剛剛在中國科學(xué)院 · 物理研究所落下帷幕的“2018年第九屆全國FIB技術(shù)及學(xué)術(shù)交流研討會(huì)”是國內(nèi)FIB一年一度的盛會(huì)，自2010年起已連續(xù)成功舉辦了八屆。

2018年第九屆全國FIB研討會(huì)現(xiàn)場

本屆全國FIB研討會(huì)由中國電子顯微學(xué)會(huì)FIB專業(yè)委員會(huì)主辦，舉辦地點(diǎn)在北京中科院物理所D樓，研討會(huì)邀請了百余位相關(guān)領(lǐng)域的專家、研究者和設(shè)備廠商就聚焦離子束技術(shù)的基礎(chǔ)和應(yīng)用研究等最新進(jìn)展進(jìn)行了深度交流。作為全球電子顯微鏡及聚焦離子束等相關(guān)設(shè)備的主要供應(yīng)商，TESCAN受邀參加。

在研討會(huì)上，TESCAN產(chǎn)品經(jīng)理Ondrej NEZHYBA向大家展示了TESCAN最新的雙束FIB新品S9000X Xe plasma FIB-SEM系統(tǒng)。

Ondrej NEZHYBA介紹TESCAN新品S9000X

TESCAN S9000X是TESCAN于今天8月份發(fā)布的氙等離子源的雙束FIB，是一個(gè)強(qiáng)大的雙束電鏡分析應(yīng)用平臺(tái)，配備超快速的氙等離子源，具有極高的精度和極高的效率。S9000X配備了TESCAN最新一代Triglav?鏡筒的探測器系統(tǒng)和iFIB+?離子鏡筒，除具有非常優(yōu)異的表面靈敏度和對比度外，還大幅提升了大體積樣品微加工和3D微量分析的能力。

TESCAN雙束新品S9000X Xe plasma FIB-SEM

?“原位應(yīng)用和分析擴(kuò)展能力一直都是TESCAN電子顯微鏡和聚焦離子束系統(tǒng)的一個(gè)強(qiáng)力優(yōu)勢，S9000X不僅僅是一個(gè)可實(shí)現(xiàn)超快速微納加工的雙束平臺(tái)，更是一個(gè)強(qiáng)大的綜合微觀分析平臺(tái)?！監(jiān)ndrej博士在報(bào)告中介紹到，S9000X除了可以實(shí)現(xiàn)電鏡常規(guī)配置和應(yīng)用外，還可以與Raman、TOF-SIMS一體化配置，這也使得S9000X一經(jīng)推出便很快受到市場歡迎。

功能強(qiáng)大的微納加工和綜合微觀分析平臺(tái)

Ondrej博士高興的向大家提到，“在TESCAN S9000X發(fā)布后不久，清華大學(xué)材料科學(xué)研究所中心實(shí)驗(yàn)室就采購了一臺(tái)配置有Raman和TOF-SIMS的S9000X Xe Plasma FIB系統(tǒng)。”截至目前，國內(nèi)已有超過6套TESCAN電鏡-拉曼聯(lián)用系統(tǒng)和5套TESCAN雙束FIB-TOF-SIMS聯(lián)用系統(tǒng)。

清華大學(xué)采購了一臺(tái)配置Raman,TOF-SIMS的S9000X

TESCAN獨(dú)有的解決方案能迅速受到市場的認(rèn)可和歡迎，這也充分體現(xiàn)了TESCAN顯微鏡系統(tǒng)在微區(qū)綜合分析能力上的強(qiáng)大優(yōu)勢?；赥ESCAN產(chǎn)品“All-In-One”的設(shè)計(jì)理念，用戶可以根據(jù)需要，非常方便地加配原子力顯微鏡、EBL、EBIC、CL及原位的加熱臺(tái)、冷臺(tái)、拉伸臺(tái)等探測器和分析拓展附件，為科研創(chuàng)造更多可能！

感謝各位老師對TESCAN的認(rèn)可和支持，期待2019年在美麗的金陵古都與大家再次相聚！

期待 2019年全國 FIB大會(huì)再聚！

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