表面、厚度、表面粗糙度測(cè)量被測(cè)樣品光學(xué)儀器

  干涉儀
  干涉儀是一種利用光干涉效應(yīng)對(duì)表面、厚度、表面粗糙度、光
功率、材料均質(zhì)性和距離等進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)量的儀器設(shè)備。干涉儀的分
辨率由所用的光波長(zhǎng)決定．可達(dá)到納米的量級(jí)。為了得到被測(cè)樣品
的特性．必須獲取并分析干涉儀所得到的干涉圖。雙光束干涉儀可
以獲得兩束光問(wèn)光程差的相關(guān)信息。干涉儀可以做出準(zhǔn)確測(cè)量，但
必須注意儀器校準(zhǔn)和系統(tǒng)特性。

  如果被測(cè)面有缺陷，如凸包或孔洞．條紋便會(huì)在其周圍發(fā)生彎
曲。為了查看其表面是凸包還是孔洞．必須先確定光程差遞增的方
向。將被測(cè)元件向一個(gè)方向推動(dòng)，并注意觀察條紋數(shù)量。當(dāng)推動(dòng)時(shí)
條紋數(shù)目增加方向的光程差較小。如果右邊的條紋有更高的光程差
．意味著兩表面之間的空隙在右邊．那么這種干涉圖說(shuō)明在被測(cè)元
件的下表面有個(gè)孔洞。在缺陷位置上．從左到右拉時(shí)條紋表現(xiàn)出光
程差增加的話．則表示參考光束在缺陷區(qū)域內(nèi)傳播的距離更遠(yuǎn)。

  補(bǔ)償板
  補(bǔ)償舨對(duì)一個(gè)相干長(zhǎng)度短的光源來(lái)說(shuō)是很重要的。如果分束器
的上表面是反射面，測(cè)量光束要到達(dá)成像透鏡需經(jīng)過(guò)分束器三次，
而參考光束僅通過(guò)它一次。為了匹配所有波長(zhǎng)下的雙光束在玻璃中
的路程相等，必須在參考臂中放置一個(gè)與分束器厚度相同的補(bǔ)償板
。平板由相同玻璃材質(zhì)制成，以匹配光束的色散。如果干涉儀使用
立方分束器，就不需要補(bǔ)償板。

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