圓片生產(chǎn)線圖形測(cè)量的應(yīng)用分析圖像顯微鏡

  圖形測(cè)量的應(yīng)用
  眾所周知，在掩膜制備中，當(dāng)需要進(jìn)行大量的測(cè)試時(shí)，測(cè)試設(shè)備本身
的可靠性和精度就顯得十分重要。我們已經(jīng)討論了圖形測(cè)量的基本應(yīng)用，
也即對(duì)掩膜圖形尺寸的測(cè)量。掩膜制備車間在完成自己的所有工藝步驟之
后，必須檢查掩膜版上圖形的臨界尺寸，然后才能交付紿圓片生產(chǎn)線。

在圓片生產(chǎn)線中，必須對(duì)掩膜版圖形的臨界尺寸進(jìn)行第二次檢查，才能將掩
膜版用到光刻機(jī)上進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)曝光。圓片顯影后，還需對(duì)光刻膠圖形進(jìn)行測(cè)
量。假如光刻膠圖像尺寸的誤差超出規(guī)定范圍，那么有問題的掩膜版還需
再次檢查，而圓片則要再次成像并再次測(cè)量臨界尺寸。集成電路制成后，
經(jīng)過終端的電氣測(cè)試方能確定圖形尺寸是否正確。

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