表面輪廓儀能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析，一句話概括就是測量超光滑表面（納米級別）微觀形貌。 表面輪廓儀的幾大典型運用： 1.3C領(lǐng)域：測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度。 2.LED行業(yè)：測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度。 3.光纖通信行業(yè)：測量光纖端面缺陷和粗糙度。 4.集成電路行業(yè)：測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度。 5.EMES行業(yè)：測量臺階高度和表面粗糙度。 表面輪廓儀的保養(yǎng)維護： 1.每天開機前及測量完畢后用高織紗棉布沾無水酒精清潔工裝表面、測針、軌道。 2.平時不使用時將所有電源關(guān)閉，且將測針的保護套上。 3.嚴禁用掃帚清掃地面，以免灰塵揚起。 4.對儀器進行全面的維護和精度調(diào)整。 表面輪廓儀測量前先開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常；擦凈工件被測表面。將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)。然后在儀器上設(shè)置所需的測量條件。再開始測量，測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。測量完畢根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析，標(biāo)出結(jié)果并保存、打印。