近日，昆士蘭科技大學(xué)（Queensland University of Technology）很高興地宣布，他們剛剛訂購了一臺(tái)TESCAN S8000X氙（Xe）等離子源FIB-SEM系統(tǒng)。

TESCAN S8000X是TESCAN最新推出的全新一代超高分辨超高通量的氙（Xe）等離子源 FIB 系統(tǒng)，具有無與倫比的多功能性和優(yōu)異的超高分辨成像及高速納米加工功能，它將成為昆士蘭科技大學(xué)的CARF平臺(tái)（Central Analytical Research Facility）在未來幾個(gè)月安裝的“旗艦機(jī)”之一。2016年，該平臺(tái)也向TESCAN采購了一臺(tái)MIRA3 FE-SEM系統(tǒng)。

圖：TESCAN S8000X 氙（Xe）等離子源FIB-SEM系統(tǒng)

昆士蘭科技大學(xué)（QUT）是一所研究性大學(xué)，在澳洲大學(xué)中排名前十，世界TOP 3%，歷史悠久，聲譽(yù)卓著。CARF位于昆士蘭科技大學(xué)內(nèi)城校區(qū)的科學(xué)與工程中心，平臺(tái)實(shí)驗(yàn)室擁有最先進(jìn)的科學(xué)分析儀器，CARF除研究廣泛的跨學(xué)科應(yīng)用及升級搭建新的科學(xué)儀器外，還為各行各業(yè)的企業(yè)和政府機(jī)構(gòu)提供測試服務(wù)。

圖：昆士蘭科技大學(xué)科學(xué)與工程研究中心

Xe等離子與Ga離子相比，有更大的質(zhì)量和原子半徑，濺射速度是傳統(tǒng)Ga離子源的50倍以上，非常適合長耗時(shí)和大體積的銑削任務(wù)。此外，Xe等離子還具有注入效應(yīng)小、不形成金屬間化合物、不改變加工區(qū)域電學(xué)性質(zhì)等優(yōu)點(diǎn)。TESCAN是全球第一個(gè)推出氙氣等離子FIB-SEM系統(tǒng)的廠家，已發(fā)展了多代產(chǎn)品，具有業(yè)內(nèi)頂級技術(shù)水平和多項(xiàng)發(fā)明專利。

昆士蘭科技大學(xué)CARF的研究專家表示：“我們采購的這臺(tái)TESCAN S8000X Xe Plasma FIB-SEM將配置頂級的EDS（能量色散X射線光譜儀）和EBSD（電子背散射衍射）探測器，用于3D化學(xué)和微觀結(jié)構(gòu)分析。特別的是，S8000X還會(huì)將ToF-SIMS（飛行時(shí)間-二次離子質(zhì)譜）一體化集成，這為3D化學(xué)成像分析提供了最佳方案。

集成的ToF-SIMS不但使電鏡擁有了超高的空間分辨率（低至50 nm）和極高水平的表面靈敏度（ppm級），系統(tǒng)還可以檢測元素周期表中的所有元素以及同位素，這遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了電鏡常用的其他元素分析技術(shù)，如EDS?！?/p>

負(fù)責(zé)管理TESCAN S8000X的CARF設(shè)備專家Annalena Wolff博士說：“我們非常高興能將新系統(tǒng)引入我們的實(shí)驗(yàn)室。它將幫助我們的研究人員保持領(lǐng)先的科學(xué)研究地位，我們非常期待與TESCAN更多的合作，以幫助大家更容易地掌握一流的FIB技術(shù)“。

CARF顯微鏡高級研究員Jamie Riches博士補(bǔ)充道，“我們擁有龐大的客戶群，他們非常渴望使用這個(gè)新系統(tǒng)，因?yàn)樗麄冎肋@將有利于他們對于地球科學(xué)、生命科學(xué)和材料的研究。S8000X的大面積截面加工能力為地球科學(xué)和生命科學(xué)提供了全新的FIB-SEM技術(shù)，而這些通常需要納米分辨率的大面積橫截面分析應(yīng)用，使用常規(guī)的Ga離子源FIB銑削無法完成”。

Annalena Wolff 和Jamie Riches博士以及昆士蘭科技大學(xué)CARF平臺(tái)也特別感謝了澳大利亞研究理事會(huì)（ARC）的LIEF資助計(jì)劃，正是該計(jì)劃使這項(xiàng)重大的購買成為可能。他們表示這項(xiàng)重大采購將有助于加強(qiáng)他們在專業(yè)領(lǐng)域的研究優(yōu)勢，并使這一尖端技術(shù)被更廣泛地應(yīng)用。