等離子清洗機(jī)處理粉體材料，可以處理各種形狀的樣品 對(duì)于復(fù)雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實(shí)現(xiàn)對(duì)固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。

真空等離子清洗機(jī) SPV60 技術(shù)規(guī)格書

（滾輪式腔體方案）

（實(shí)際外觀以出廠的為準(zhǔn)）

深入表面   魅力科學(xué)

真空等離子清洗的優(yōu)勢(shì)

等離子清洗作為重要的材料表面改性方法，已經(jīng)在眾多領(lǐng)域廣泛使用。 與傳統(tǒng)的一些清洗方法，如超聲波清洗、UV 清洗等，具有以下優(yōu)點(diǎn)：

（A）處理溫度低

處理溫度可以低至 80℃、50℃以下，低的處理溫度可以確保對(duì)樣品表面不造成熱影響。

（B）處理全程無污染

等離子清洗機(jī)本身是很環(huán)保的設(shè)備，不產(chǎn)生任何污染，處理過程也不產(chǎn)生任何污染。

（C）處理效果穩(wěn)定

等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)保持效果良好。

（D）可以處理各種形狀的樣品 對(duì)于復(fù)雜形狀的樣品，等離子清洗都能找到合適的解決方案。 真空等離子清洗更可實(shí)現(xiàn)對(duì)固體樣品內(nèi)部位置進(jìn)行清洗。

等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵(lì)電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣

體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。

（A）控制系統(tǒng)： 控制系統(tǒng)的功能在于控制整個(gè)設(shè)備的運(yùn)行，包括人機(jī)界面（觸摸屏）、PLC、電氣電路。采 用全自動(dòng)控制系統(tǒng)的真空等離子清洗，可實(shí)現(xiàn)多種模式多種程序?qū)η逑丛O(shè)備進(jìn)行控制，滿足 不同客戶的需求。

（B）激勵(lì)電源系統(tǒng)：

激勵(lì)電源主要有三類：40KHz 的中頻激勵(lì)電源，13.56MHz 的射頻激勵(lì)電源，2.45GHz 的 微波激勵(lì)電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵(lì)電源和中頻激勵(lì)電源。各自應(yīng)用場(chǎng)合不同。

（C）真空腔體： 真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體。根 據(jù)用戶的不同需求，可實(shí)現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。

工藝氣體包括流量計(jì)、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣、氧氣、氫氣、

氮?dú)?、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。

（E）真空泵： 真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵，油泵主要采用雙級(jí)旋片泵，根據(jù)用戶所采用的腔體體積、 工作效率、環(huán)境要求來制定真空泵的方案。

滾輪式腔體技術(shù)參數(shù)

電源系統(tǒng)

定制射頻電源：頻率 13.56MHz；功率 0~500W 可調(diào)；

全自動(dòng)真空電容匹配器

真空系統(tǒng)

定制雙級(jí)旋片泵（油泵）：60m3/h， 真空計(jì)：日本英?？灯だ嵴婵沼?jì)

真空管路：全不銹鋼管路，以及高強(qiáng)度真空波紋管

腔體系統(tǒng)

（定制）

鋁合金真空腔體，軍工級(jí)焊接密封，25mm 厚度 滾筒為不銹鋼材質(zhì) 腔體內(nèi)部尺寸：375mm（寬） 375mm（高） 425mm（深）， 即 60L

滾筒尺寸：297mm（直徑） 350mm（高），即 48L

氣體系統(tǒng)

氣壓閥，日本 SMC

流量計(jì)，七星華創(chuàng)品牌，0~300SCCM

兩路工藝氣體：氬氣、氧氣

控制系統(tǒng)

PLC，德國(guó)西門子 S 系列 觸摸屏，威綸通，七寸屏幕

電氣部件：德國(guó)施耐德品牌

其它參數(shù)

外形尺寸：790mm（寬） 1639mm（高） 894mm（深） 重量：400KG

顏色：銀灰色

滾輪式腔體尺寸參數(shù)