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特點(diǎn):長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性,每年變動(dòng)小于滿(mǎn)量程的 0.2%高精度流量范圍寬 - 從0.003一直到 2500 lpm上限耐壓等級(jí) - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)可編程多氣體/多量程功能可單獨(dú)輕松訪問(wèn)的診斷/維護(hù)端口包括 DeviceNet 、EtherCAT 、Profibus 和 RS-485加模擬接口在內(nèi)的各種通信選擇采用模塊化設(shè)計(jì),無(wú)論在工廠或是現(xiàn)場(chǎng)使用均非常易于維護(hù)
BROOKS質(zhì)量流量計(jì)SLA5860關(guān)鍵應(yīng)用:化學(xué)品與石化分析和試驗(yàn)過(guò)程實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)室薄膜氣相沉積熱處理、切割等其他熱過(guò)程真空應(yīng)用
BROOKS質(zhì)量流量計(jì)SLA5860測(cè)量原理:
是采用感熱式測(cè)量,通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少?gòu)亩鴣?lái)測(cè)量流量,因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量,所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果 。
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