眾所周知，在9月15日之后，華為已被全面斷供。濃濃的情緒之下，中科院作為中國(guó)研發(fā)硬實(shí)力宣布牽頭研發(fā)光刻機(jī)。中科院布局光刻機(jī)和卡脖子相關(guān)技術(shù)的消息，一經(jīng)發(fā)出便引發(fā)了業(yè)界的歡呼。

9月16日，根據(jù)媒體報(bào)道，中科院院長(zhǎng)白春禮接受采訪(fǎng)時(shí)表示：“未來(lái)中科院將集結(jié)全院之力攻克光刻機(jī)、關(guān)鍵材料等重點(diǎn)技術(shù)，幫助國(guó)內(nèi)科技企業(yè)擺脫被西方國(guó)家卡脖子的命運(yùn)。”

雖然，光刻機(jī)技術(shù)落后，特別是EUV極紫光刻機(jī)落后是事實(shí)。但事實(shí)上，光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)并不是從零開(kāi)始的。

2019年，上海集成電路峰會(huì)上，國(guó)家集成電路創(chuàng)新中心總經(jīng)理張衛(wèi)向透露的“中國(guó)集成電路技術(shù)路線(xiàn)圖”中的六大內(nèi)容中，就包括了先進(jìn)光刻工藝發(fā)展趨勢(shì)的這一項(xiàng)。

另外，國(guó)內(nèi)光刻技術(shù)早已達(dá)到65nm水平，甚至更高水平的工藝的消息頻繁流出。

今年7月，中科院方面公布了一種5納米工藝的激光光刻技術(shù)，2019年12月份，中科院還公布了一項(xiàng)新型垂直納米環(huán)柵晶體管技術(shù)。

可以說(shuō)，在先進(jìn)技術(shù)，特別是光刻機(jī)上，中科院一直是在努力之中的，只不過(guò)是背后默默的英雄。

21ic家認(rèn)為，國(guó)內(nèi)最大的研究所加入到光刻機(jī)的研發(fā)，不僅擁有最好的人才和研發(fā)資源，還具有最好的牽頭作用。

眾所周知，雖然光刻機(jī)一直在卡脖子，但要知道光刻機(jī)也擁有自己的產(chǎn)業(yè)鏈，包括鏡頭、激光、光刻膠材料、測(cè)試測(cè)量都是必備的環(huán)節(jié)。當(dāng)然，中科院也明確表示將會(huì)將卡脖子的技術(shù)都列入可研清單之內(nèi)，因此中科院的未來(lái)研究成果非常值得期待。

[來(lái)源：中國(guó)電子網(wǎng) ] 中科院卡脖子光刻機(jī)華為EUV